3 使用在线回收砂浆过程中存在的主要问题及调整措施
砂浆的质量直接影响硅片的切割质量，而使用在线回收设备回收的砂浆不可避免会存在质量波动，主要表现为砂浆中微粉含量偏高，切割能力不足，这将直接导致质量问题的产生，如硅片表面锯痕或TTV值超差。对此，主要措施为调整在线回收设备的相关参数：调整流量值、差速或主频、副频值。
参考文献
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