可以看出,使用第四阶段回收比例的砂浆切割质量情况相对较稳定,各项指标较理想。
2.2 回收次数对切割质量的影响
从第二阶段回收比例比例到第四阶段回收比例调整过程中,第三阶段回收比例的砂浆共回收35批次,第四阶段回收比例的砂浆共回收37次,但随着砂浆回收次数逐渐增多,硅片质量也出现波动 ,其中第三阶段回收比例的砂浆使用到第35次时硅片表面出现严重锯痕,原因是砂浆切割能力不足 ;第四阶段回收比例的砂浆使用到第37次时清洗工序崩边碎片率较高,原因是硅片表面锯痕太深引起。
砂浆回收次数对切割质影响的分析
2.3 在线回收砂浆对线损的影响
对线锯切割完的旧钢线,取样线进行检测发现,使用不同回收比例的砂浆进行切割,钢线平均直径的磨损程度差异不大,但是椭圆度随着砂浆回收比例的提高而增大;同时,随着砂浆回收次数的增多,钢线直径的磨损程度和椭圆度也有所增大。由于钢线线损过大、椭圆度过高会直接影响携砂量,会因此会影响切割质量。