北极星新品推荐:RENA新款RS 690-DW产品可改善硅片质量

来源:发布时间:2012-11-14 12:29:14

索比光伏网讯:RENA2012年9月上市,基于RS 690-2线锯系统的经验,RENA为金刚石线锯设备专门调试出新式RS 690-DW产品。RS 690-DW产品是为使金刚石线锯以最低的制备成本(CoO)获得最高的硅片质量而研发的。该产品的机械组成包括:具有经优化的线锯轴间距的固定线锯、一套新式线锯管理系统和一套占地小的特制冷凝液分配循环系统。该产品在工艺上的特征据称可实现较高的硅片质量、改善TTV(总厚度偏差)值、少于1米的单位线锯消耗量和高于15 MW/a的总产出量。

本品可应用于多晶/单晶硅锭的切割过程中。该设备在对156mm x 156mm的硅片进行切割时,所使用的线锯直径最小可达100 µm。降低硅片成本始终是行业较为关注的一个重点,其中包括对于可减少切口损失并具有潜力实现较薄硅片的金刚石线锯的使用。

然而,为实现包括硅片的质量和产量在内的产能最大化,需要专注于对总体工艺流程进行控制。在购置成本计算过程中,最为主要的一点是冷却液的成本。凭借与SH+E集团的合作,RENA开发出了一套可增加冷却液使用寿命并降低工艺成本的冷却液循环系统。而冷却液的成本可通过在金刚石线锯工艺中使用合适的冷却液循环解决方案来解决。

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