多晶硅生产以金属硅为原料，与氯化氢反应合成三氯氢硅，三氯氢硅经过精馏提纯后，用高纯氢气还原得到多晶硅产品。
专家指出，改良的多晶硅提纯技术通过充分的循环利用，完全可以实现达标排放，甚至做到零排放。
而在多晶硅生产过程中，四氯化硅是多晶硅生产的副产物，每生产1吨多晶硅产生10～20吨四氯化硅，如不妥善处理，将直接影响生产并导致环境污染。主流处理工艺是经氢化转变为三氯氢硅，成为多晶硅原料，返回系统使用。
经过努力，目前我国多晶硅提纯技术上已处于国际领先。江苏中能硅业自主研发的氯氢化技术投入大规模运行后，大量副产物全部转化成多晶硅生产原料，克服了世界性的环保和安全难题。
上海普罗自主创新的MP法提纯技术，8月底已经将硅料提纯到6.5N（即六个9）太阳能级多晶硅，99%以上硅元素自始至终不发生化学反应，完全没有污染排放，是目前世界上最为清洁的多晶硅生产工艺。
“正如晶科自身表述的，原因可能出在管理疏忽上。”史珺告诉记者，一般硅片加工中的污染在两方面，一是切割硅片过程中产生的碳化硅粉，处理起来比较方便。大部分企业采用的方法是砌一个水泥池子，经过沉淀，油粉分离，上层的油和下层的硅粉都可由专业的公司进行回收。
另一个是清洗硅片用的氢氟酸。这种稀酸用完以后，经过酸再生系统的化学薄膜过滤，90%以上可以循环利用，剩下10%也可以经普通石灰粉生成氟化钙，成为钢铁厂所需原材料。
高能耗也存在舆论误解
过去我国光伏产业“两头在外”的局面已经被改写。“今年国内多晶硅产量已经占总需求量的一半以上。”史珺告诉记者。
早在2007年国家发展改革委就曾下发 《关于组织实施高纯硅材料高技术产业化重大专项的通知》，要求使物理法规模化生产的高纯硅材料纯度达到6N以上，光伏电池组件转换效率达到15%左右、寿命达到20年以上。
2009年9月底，国务院批转《关于抑制部分行业产能过剩和重复建设引导产业健康发展的若干意见》的38号文，明确提出了多晶硅产业的准入门槛，要求新建多晶硅项目规模必须大于3000吨/年，占地面积小于6公顷/千吨多晶硅，太阳能级多晶硅还原电耗小于60千瓦时/千克。
这次由政府针对多晶硅产业耗能提出的直接表达。经过解读，外界一度把多晶硅产业定格为“高耗能”。
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