日前,德路(DELO)工业黏胶剂公司开发出了用于光伏产业的特殊黏胶剂:新型双组分环氧树脂DELO-DUOPOX RM885、DELO-DUOPOX RM864 和 DELO-DUOPOX RM845特别适用于晶圆生产;有了它,硅锭在被切成极薄的晶圆单片或多晶硅片(170 到 200 µm)之前,就能被粘接在一个安装盘上。切割工艺完成之后,晶圆必须被隔离,而且必须将上面的黏胶剂完全清除掉。
这种新开发的特定黏胶剂呈现出了很多优点,快速的初始粘和力和良好的剥落行为保证了一种高效的生产工艺,该产品以其耐高温特性使之容易承受对切割工艺的各项要求。“借助黏胶剂的均衡特性,硅晶圆片可以被理想地切割,而且硅废弃率很低。”德路工业黏胶剂公司产品经理Harald Neumeier说。DELO-DUOPOX RM885 和DELO-DUOPOX RM845不仅适用于浆材线锯,而且尤其适用于创新的金刚石线锯。
与用调和稀酸就能很容易清除的DELO-DUOPOX RM864相比, DELO-DUOPOX RM885 和DELO-DUOPOX RM845在切割工艺之后还能够额外地用酸剂加热水清除。