TMA
TMA耗量的不同，如图5所示。
同时，为了避免后续金属化烧结过程铝浆对钝化膜的破坏，再要额外沉积一层100-150nm厚度的氮化硅，一方面可以保护氧化铝钝化膜，另外还可以提升背面减反效果。
图
5. PECVD和ALD不同模式TMA的耗量(数据来源Taiyang News 2017)
PERC电池制作另一关键工序是激光开窗，通过激光热熔方法把背面需要形成铝硅合金接触的区域上面的氧化铝和
氧化铝膜厚度和TMA 使用量。而相比于传统PECVD 钝化技术，ALD 技术使钝化膜更薄，并且大大降低TMA 使用量，从而使成本降低。 ALD 技术带来4.72%的成本下降空间：经测算，当
，效率绝对值较产线提高0.4%以上，量产极限产能可达5900片/小时，其中TMA化学源耗量低于1mg/片，TMA年耗量较等离子增强的化学气相沉积（PECVD）方式生产的氧化铝薄膜可节省高达人民币800
，比如TMA用一些更低价更稳定的替代，三氧化铝浆料的改进，我不用镀膜了，如何进一步提高效率，把硅片质量提得更高，包括它和SE的结合，包括和MW的体和，进一步提升发电，挑战一个光衰，第二LETID，所以
依然存在：首先在氧化铝沉积设备上，梅耶伯格的板式PECVD可谓一家独大，然而其维护成本高，TMA消耗量大，同时薄膜质量提升空间较小;而ALD设备目前呈现百家争鸣的态势，国内设备厂商也强势加入战局，然而
TMA) 丝印并烧穿制备背面铝细栅(免激光开槽) 正面效率达到22% 双面PERC电池(PERC+) 选择性发射区(SE)+PERC PERC电池关键技术之光衰问题 抑制
及最佳正常运行时间。同样重要的是降低昂贵的TMA前体材料的成本。最近，我们在亚洲主要的客户之一实施最具成本效益的TMA配方。现阶段，SoLayTec的ALD氧化铝比竞争技术，如PECVD AlOx少消耗4-5。
间， TMA前体材料用量少五倍，最重要的是ALD工艺非常高的稳定性。这使电池效率分布更窄，并具有较高的平均效率，为我们的客户带来更大利润。 合作双方表示，他们将在SNEC 2014上展示其InPERC技术对于效率超过18%的多晶硅太阳能电池的成果。
）、为发电项目提供专用系统以及开发有关新能源的解决方案等。东日本大地震发生之后，可再生能源进一步得到普及，越发受到日本国内企业的关注。在此背景下，三井物产与东京海上资产管理投信株式会社（TMA）携手合作
接受TMA公司募集的由企业年金等出资的投资基金之委托，开发和经营太阳能发电站，负责从土地确保、电厂建设到经营和撤收等一系列的业务活动。"企业年金模型"旨在发挥以下四项功能：1）为日本国内的机构投资者
日本三井物产公司与从事投资信托业务的东京海上资产管理公司（TMA）合作，将共同设立向日本百万瓦级太阳能发电项目进行大范围分散投资的投资基金，在日本国内10个地区着手开发和建设大规模太阳能发电站。三井
