PECVD
交钥匙工程,到应用产品开发、组网发电一体化的综合能力。集团还自主创新开发了全自动槽式多晶植绒设备,高方阻软着陆扩散炉,大尺寸高均匀性PECVD,高分辨率全自动印刷机等核心设备,拥有多项技术专利和完全
工程,到应用产品开发、组网发电一体化的综合能力。集团还自主创新开发了全自动槽式多晶植绒设备,高方阻软着陆扩散炉,大尺寸高均匀性PECVD,高分辨率全自动印刷机等核心设备,拥有多项技术专利和完全
公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、PECVD、清洗机等工艺设备为主。其前提是公司掌握了半导体前道工艺
技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、PECVD、清洗机等工艺设备为主。其前提是公司掌握了半导体前道工艺主要设备的制造技术，具备以成膜、清洗、流量
索比光伏网讯:作者简介：李军阳，男，高级工程师，长期从事半导体工艺设备开发与研究工作，近年来致力于太阳电池用PECVD设备在国内的研发及工艺研究并取得重大突破，现任职深圳市大族光伏
科技股份有限公司研发总监。 摘要：本文针对目前国内在太阳能电池行业使用管式PECVD沉积氮化硅减反射膜时为了实现均匀性而随意调整工艺气体流量而做出实验性分析，避免在工艺过程中发现电池转换效率下降了而难以找到原因
生产设备PECVD。PECVD是光伏产业中附加值最高的环节之一，此前该环节一直被国外厂商垄断。 二是推进实验技术转化为产品，上海空间电源所承担国家航天、军工领域太阳能尖端技术研发，近年来研究所走出
级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和PECVD等薄膜电池
PECVD，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和PECVD等薄膜电池生产设备的研制、生产，将光伏生产设备成本降低30%。辅料的国产化。我国在太阳电池辅助材料方面发展较快，如铝浆、EVA和光伏组件超白
核心装备(PECVD)，各项技术指标符合工业生产要求，关键技术居于国际先进水平。 该项目所生产组件均采用国产化技术制备，国产化设备占生产线固定资产总投资的80％以上，并掌握大型并网电站设计及
工程技术；在自有厂房内完成了100MW的太阳能组件生产线和35MW的太阳能单片电池生产线的基础上，同时在上海浦江镇和连云港分别建立了500MW的单片生产线和500MW组件生产线；自主研发了PECVD设备
、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、PECVD、非晶硅玻璃基片清洗
