PECVD

以喷涂不同形状的小衬底。莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局，此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。此外该公司还指出，个别

，此外还可以喷涂不同形状的小衬底。莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局，此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。此外该公司还指

他的团队在异质结太阳能电池项目上进行合作。我们相信这项基于我们用于新型太阳能电池减反射喷涂的SingularICP-PECVD喷涂工具技术的项目会获得商业成功，它能降低太阳能电池的生产成本，为光伏
喷涂效率表现优异，涂色均匀。在SERIS项目中，这些能力还将扩展到异质结硅片太阳能电池的多层喷涂处理。这个工具的关键是PECVD光电直读光谱仪。光电直读光谱仪能够更好的控制薄膜的组织和高速处理的沉积物

索比光伏网讯:德国制造商Singulus Technologies(ETR:SNG)收获了一份Singular PECVD工具订单，这是新加坡太阳能研究所(Solar Energy Research
(Thomas Mueller)博士以及他的团队在异质结太阳能电池项目上进行合作。我们相信这项基于我们用于新型太阳能电池减反射喷涂的Singular ICP-PECVD喷涂工具技术的项目会获得商业成功

，包括WIS（外延片检查机）、Texture（蚀刻机）、Diffusion（磷扩散炉）、InOxSide（化学晶边绝缘机）、PECVD（电浆辅助化学相沉积炉）、Printer（网印机
）、FastFiringFurnance（FFF，快速烧结炉）、IVTester&Sorter（IV检测及分类机），以及Texture至PECVD各主机衍接Loader及Unloader设备系统。同时，广运也推出

设备、快速烧结炉、IV检测及分类机，以及Texture至PECVD各主机衔接的装载、卸载设备。其中刻蚀机、磷扩散炉和电浆辅助化学气相沉积炉单机部分采用了Rena、Centrotherm的相关设备，其余

%以上，极具成本优势。此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、IV检测及分类机以及Texture至PECVD各主机衍接

PECVD各主机衍接Loader 及Unloader设备系统。除了其中的刻蚀机、磷扩散炉与电浆辅助化学相沉积炉单机部分搭配德国Rena、Centrotherm等著名大厂外，其他的单机部分以及产线串联，完全

索比光伏网讯:日前获悉，中国保绿光伏的生产线率先采用了先进的PECVD技术，该技术在产品收益率为90%的情况下可以将薄膜太阳能电池的转换效率提高到8%。由于集团采取的先进技术对环境友好，将从根本上减少能量损耗和生产污染。

首创多晶槽式制绒、高方阻扩散、高均匀管式PECVD、高精度SE工艺电极对位印刷以及双排烧结炉。还有更多企业的精彩发言，在此就不一一列出。笔者从此次活动的现场感受到，越是在面对最严峻的市场考验的时候，越需要我们的企业能够汇聚成一股强大的力量，彼此依靠，去迎接挑战，相信我们总是在雨过天晴之后能够看见曙光。