PECVD
生产过程中所采用的全新 PECVD poly 沉积技术、高效选择性发射结技术和多层介质膜结构技术也帮助产品显著提升了抗PID及发电性能，从而赋能弘元高能组件。弘元制造HT系列双玻72版型TOPCon
高效TOP-CONSE电池，采用PECVD法隧穿层、Poly层、原位掺杂层的“三合一”制备，具有低成本、高转化率、低衰减率、高可靠性、高发电性能等竞争优势，有望在市场上获得更多溢价。据了解，安徽美达伦
(2m×2m)VHF-PECVD(甚高频等离子体增强化学气相沉积)系统制备高品质纳米硅基薄膜技术，结合产学研团队同步研发的PVD过渡金属掺杂的高迁移率TCO工艺，以及无种子层直接电镀工艺实现金属化技术
，主要使用化学气相沉积法，所以也带来多种沉积路线的探索与试错。初期，行业曾在原子层沉积(ALD)设备和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备中抉择，而随着工艺的成熟，且PECVD设备进行电池正面
的氮化硅膜沉积并在在正面钝化的应用中已经积累了巨大的装机量，相关基于PECVD的设备升级方案变成了光伏企业的首选。但这道选择题还远未结束。即便确认使用了PECVD设备，但在当时PECVD设备采用的是板式
，新一代主流电池技术开始崭露头角。作为行业内率先实现TOPCon PECVD Poly 技术规模化量产的公司，目前通威股份眉山9GW TNC产能已全面达产达标，目前量产平均转换效率已达到26.1
达到新的高度。近年来，公司已向国内外光伏企业提供了多台应用于异质结电池的各种设备，并陆续取得重复性订单。本次出货的整线设备整合了公司的各项异质结资源，采用了公司全新的板式PECVD双面高速RF微晶工艺
。行业首条210 PECVD Poly电池中试线、THC最高电池转换效率26.49%、210 THC双玻组件正面功率743.68W、n型TBC研发效率达到26.41%、钙钛矿叠层电池研发效率达到
行业内首家实现TOPCon PECVD Poly 技术规模化量产的企业，量产平均转换效率在未叠加SE技术的情况下达25.7%。并在TOPCon、HJT、IBC、钙钛矿/硅叠层等先进技术方向开展全面
近日，由三一硅能装备公司研发的PECVD和PVD组建的异质结试验线，异质结电池最高效率首次突破25.29%。此次突破充分证明自研设备的工艺性能和可靠性，为三一异质结电池装备产业化奠定坚实基础。三一
异质结试验线电池效率首次突破25%，达到25.29%。后续将开发双面微晶工艺，效率有望更上一个台阶。三一硅能装备公司自研的PECVD和PVD，于2022年项目立项，在短时间内完成方案设计、制造组装、调试
电池产业化层面看亦是如此，金石能源HBC电池都是用量产PECVD设备生产出来的，所有的工艺均可用于大规模生产，且异质结电池产线可以直接改造升级成HBC电池产线。据公司HBC电池工艺研发负责人透露，鉴于HBC
