PECVD
靶材则有铝掺杂的氧化锌(AZO)靶材等。得益于GW级异质结电池量产整线装备的成熟，金石能源HBC电池都是用量产PECVD设备生产出来的，且所有的工艺都可用于大规模生产，当前，通过设备、效率、成本、工艺
%，钙钛矿/硅叠层电池效率达到31.13%。产能规划方面，随着彭山太阳能一期16GW高效晶硅电池项目顺利下线，公司TNC电池产能规模达到25GW。基于在PECVD Poly技术工艺上的深厚积淀以及对
、PECVD、PEALD等不同技术细分路线，可见公司对不同的细分路线都有深刻理解。最终，公司选择了降本提效潜力更大的PECVD Poly技术。作为行业内率先实现TOPCon PECVD Poly 技术规模化
技术层面看，说明HBC电池的提效还有很大空间;从电池产业化层面看，金石能源HBC电池都是用量产PECVD设备生产出来的，所有的工艺都可用于大规模生产。在装备与技术日趋成熟的前提下，HBC电池的生产成本也得到有效控制，HBC电池产业化向着量产迈出了坚实的一大步!
掺杂多晶硅薄层，形成较好的钝化接触结构;HJT电池通过本征非晶硅层与掺杂多晶硅薄层形成钝化接触结构。两者区别在于使用了不同的接触钝化材料，由于非晶硅需要PECVD设备沉积，同时使用TCO来增强导电性以及
亿元，同比增长6.42%；实现基本每股收益1.52元/股，同比增长6.29%。迈为股份主营产品为太阳能电池生产设备，主要应用于光伏产业链的中游电池片生产环节，包括HJT太阳能电池PECVD真空镀膜设备
，叠加上半年组件排产需求旺盛，市场供需相对偏紧，电池盈利能力同比提升。报告期内，公司电池满产满销，实现销量35.87GW(含自用)，同比增长65%。作为行业内率先实现TOPCon PECVD Poly
以内。电池业务方面，通威股份单晶PERC电池非硅成本较去年全年平均非硅成本再降16%，产品A级率、电池转换效率、碎片率等核心指标持续领跑行业。作为行业内率先实现TOPCon PECVD Poly技术
水平。公司在PVD、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验。早在2019年11月份，捷造光电就曾宣布公司异质结电池效率达到25.11%。捷造
，通过物理气相沉积(PECVD)等方法，在电池的前表面和背面分别涂覆一层非晶硅或微晶硅薄膜。这些薄膜具有优异的电子传导性和钝化性能，可以有效减少载流子的表面复合现象。此外，通过在电池片前表面形成一种
