PECVD

电池片制造关键设备之一生产型管式PECVD设备的成功研制，使我国正式具备了除全自动丝网印刷机外的太阳能电池制造设备的整线供应能力。在这方面，中电科技集团第48研究所和北京七星华创电子股份有限公司取得了
较好的成绩，并占据了一定的市场份额。国产PECVD设备的成功抢滩，打破了该领域由国外进口设备一手垄断的局面。其成功不仅使国内太阳能电池制造企业获得了低成本建线的解决方案，也极大地鼓舞了国产设备厂商与国

索比光伏网讯:：近日，经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司研发团队的不懈努力，在捷佳伟创的管式PECVD设备上进行背面钝化技术的硅片少子寿命在传统工艺的基础上提高了5倍，这证明捷佳伟创的背面镀膜
式PECVD设备在此技术上已经进入国际领先水平，这是我司装备制造水平提升的标志，也为越加寒冷的光伏行业带来了些许暖意。

国产太阳能电池制造装备市场份额80%，是我国太阳能电池制造装备的龙头供应商。该所先后成功开发了扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、多晶炉、清洗机等光伏装备。48所需要进一步抢占技术制高点

有限公司（以下简称曙海公司）于2008年4月8日在上海市南汇区工业园区注册成立。曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积PECVD系统和磁控溅射

环保的绿色能源解决方案。公司产品非晶硅薄膜电池组件，主要的生产技术包括：使用LPCVD沉积前透明氧化物电极与背接触电极；使用PECVD技术沉积非晶硅薄膜；通过P1、P2与P3激光划刻技术把非晶硅
、MC、RF溅射技术）以及PECVD技术等方面处于国内领先，并有多项科研成果获得国家专利。近年来，为多个院校、研究院所开发制造多台用于研究薄膜太阳能电池的实验室设备。在拥有成熟的真空技术的基础上

电池组件，主要的生产技术包括：使用LPCVD沉积前透明氧化物电极与背接触电极;使用PECVD技术沉积非晶硅薄膜;通过P1、P2与P3激光划刻技术把非晶硅电池分成串接的子电池。Solar Frontier

薄膜太阳能电池稳定后的转换效率可以达到9%左右，在量产之后，通过加工技术的提升，还可以进一步提高转换效率。据孙海燕博士介绍，非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于PECVD工艺，后者在镀膜的过程中需要
40MH的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。所以Oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在PECVD设备超高频电源与反应器装置的开发。超高频电源应用主要的目的

%，今年一季度，公司在光伏淡季保持了良好的经营情况，毛利率高达41.92%。公司毛利远高于行业平均水平，主要有两方面原因：一是凭借超强的研发能力，自行研制了重要生产设备，如单晶炉、多线切割机、PECVD

，由此宣布了其开始进入用于晶体硅太阳能电池生产的真空镀膜系统市场。据Manz公司称，VCS 1200等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统可以给垂直放置的硅片正反两面镀膜，其每小时可以完成1200片
硅片的镀膜工作。钝化过程可以通过PECVD完成。该系统也可以集成到现有的生产线中。VCS 1200可以在硅氮化物和氧化铝层创造出最优的层特性。此外，系统可以通过高性能的等离子体源（专利申请中）来缩减