PECVD
边工艺的电池片中，电池片经丝网印刷烧结之后，皮带传输、质检分选、组件焊接等过程中片与皮带、片与片之间摩擦时造成边缘残留金属粉粒，从而导致漏电增大，效率降低。 2、实验方案与分析 2.1PECVD的
900MW／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式PECVD机18台、丝网印刷机20台、分类检测机26台（具体设备以评估报告载示为准），产品系列为多晶硅太阳电池;（三）公司财务
日 期：2017年8月24日 招标编号：0617-1722HJ1643 1、受西安黄河光伏科技股份有限公司的委托，就晶体硅太阳电池PECVD在线自动上下料设备采购组织国内公开招标。 2、符合
用量，防止源液倒流; ·设备运行可靠，有效工作时间98.5%以上。 管式PECVD设备 M82200-10/UM型PECVD采用直接式等离子沉积方式，可生产出质量极佳的晶体硅太阳能电池减反射涂层
晶科）。图1全球电池产能预测PERC电池的技术竞争力吸引了整个产业界的关注，产业化设备、关键材料都在加速开发中。MeyerBurger公司采用PECVD法制备AlOx膜的沉积设备，报道了一种新的正表
21.63%（我国晶科）。图1全球电池产能预测PERC电池的技术竞争力吸引了整个产业界的关注，产业化设备、关键材料都在加速开发中。MeyerBurger公司采用PECVD法制备AlOx膜的沉积设备，报道了
Min et al., 31st EU-PVSEC, Hamburg/Germany, 14.-18. Sept. 2015 P型PERC发展方向 丝印制备Al2O3钝化膜(免ALD，免PECVD、免
磷硅玻璃;
S16、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子增强的化学气相沉积 )，即沉积减反射膜，利用薄膜干涉原理，减少光的反射，起到钝化
;
S18、测试分选。
在 PECVD 过程中，会在电池片表面镀上一层氮化硅膜。与此同时，电池片所在的载片基板上没有放置电池片的地方也会镀上氮化硅，随着载片基板表面的氮化硅逐渐变厚，载片基板受到的局部
处理、净化工程的建设到与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备等，已有不同程度的出口。硅材料加工设备主要有
用。电池片环节：生产环节，清洗/制绒设备：基本以国产为主。扩散炉：经历了开管-闭管-全封闭（软着陆）-负压扩散几个阶段，大部分电池企业采用国产装备。刻蚀：基本采用湿法工艺，以国产设备为主。PECVD：以管式
成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备等，已有不同程度的出口。硅材料加工设备主要有多晶铸锭炉、单晶炉、切断机、切方机、多线切割机、硅片检测分选设备等。其中
-闭管-全封闭(软着陆)-负压扩散几个阶段，大部分电池企业采用国产装备。刻蚀：基本采用湿法工艺，以国产设备为主。PECVD：以管式PECVD为主，也已基本实现国产。八、光伏是人为制造的虚假的繁荣?还是
