PECVD
氧化铝膜厚度和TMA 使用量。而相比于传统PECVD 钝化技术，ALD 技术使钝化膜更薄，并且大大降低TMA 使用量，从而使成本降低。 ALD 技术带来4.72%的成本下降空间：经测算，当
笔者近日从某业内主流电池片厂了解到，深圳丰盛装备股份有限公司生产的新型HPE450型PECVD，量产工艺已取得重大突破!单管装片量达到432片，业内最高;工艺时间缩短到29分钟，远低于行业目前的35
~38分钟,业内唯一一家将大管径PECVD量产工艺做到30分钟以下;PECVD最关键指标膜厚均匀性也真正做到低于4%，实际综合产能较业内同类产品高15%以上，单机年产能达175MW。为电池生产提供了新
。PECVD 氮化硅取代了从前的APCVD 二氧化钛;连续自动化三道丝网印刷机取代了以往的手工印刷设备;自动化电池转换效率分档测试设备代替了当年的手工测试仪等。看到这些，Stuart讲：正荣，你干得很好!我
Stuart来无锡，他看到了现代版的电池生产线和15%多晶硅电池的转换效率感到异常的兴奋。PECVD 氮化硅取代了从前的APCVD 二氧化钛;连续自动化三道丝网印刷机取代了以往的手工印刷设备;自动化电池
建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备已经有不同程度的出口。目前，一条100MW生产线的工艺设备的投资
光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备已经有不同程度的出口。目前，一条100MW生产线的工艺设备的投资，仅需要
片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)PECVD篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新）
索比光伏网讯:针对金刚线直接添加剂法制备的金刚线多晶硅片绒面、反射率及减重与常规砂浆线多晶硅片的制绒差异，本文分析了其对扩散、PECVD和丝网印刷等工艺造成的影响，并就如何匹配各道工艺进行了总结
，优化扩散、刻蚀、PECVD及丝印等后道工艺也是提高金刚线添加剂制备的电池效率重要途径。因此，针对我们对金刚线直接添加剂实验及量产经验，我对扩散、PECVD及丝网印刷等后道工艺如何更好匹配金刚线添加剂
20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式PECVD机4台、丝网印刷机20台、分类检测机26台（具体设备以评估报告为准），产品系列为多晶硅太阳电池。（三）公司财务报表显示，截止2017年4月11日，德鑫
中国也能够做出世界级的芯片级硅。连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)PECVD篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新）
