PECVD

使用KOH刻蚀，正面制绒，背面断开掺杂区域的衔接 ALD生长20nm的AlOx用作钝化，正面再用PECVD覆盖SiNy/SiOz的减反射层，背面只覆盖SiOz 再次使用光刻对

纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备已经有不同数量的出口。目前，一条

时间式 ALD即双面氧化铝钝化等）、等离子体增强化学气相沉积PECVD（包括远程等离子PECVD、直接等离子PECVD等）及其他非氧化铝钝化体系，引领PERC技术多元化发展、加速光伏行业平价上网进程。作为

我在与业内人士交流时通常会被问道的问题，我认为此问题分为多个方面。我坚信这其中的多个方面将会在PV CellTech上进行探讨，并且在这里我们能够从PECVD和激光工具设备供应商处得到最为有用的讯息
整体部分，并还有材料供应等议题，同时我们还组织了关于设备话题的小组讨论环节。在PERC领域，梅耶博格(Meyer Burger)是PECVD供应领域内的主导企业，通过几年前收购的Roth & Rau公司

专项，实现了我国高端集成电路装备的技术提升，同时积极向节能环保、新能源等新兴战略产业拓展。北方微电子在集成电路领域的产品涉及8英寸和12英寸等离子硅刻蚀机，太阳能领域的产品为ESSIND平板式PECVD
镀膜系统，LED领域的产品是ELEDE系列电感耦合等离子体刻蚀机。自2009年进入太阳能领域以来，以其强势的技术研发团队和经验，在短时间内，顺利实现PECVD的量产化，达到了国籍水平，也填补了国内空白

PVSEC）期间，推出新型等离子体化学气相沉积（PECVD）垂直镀膜设备VCS 1200，该设备能对晶体硅太阳能电池进行正面与背面的双面镀膜。在等离子体增强化学气相沉积过程中对电池进行钝化对于硅基
Dieter Manz表示：整个光伏产业现在正经历着艰难时刻，电池生产厂商迫切需要降低每瓦成本。基于创新的PECVD设备，我们能够提供具有最低投资与运营成本的完美解决方案。Manz公司将于2012年9月24日至

索比光伏网讯:据深圳市科技创新委员会2013年7月11日公布的2012年度深圳市科学技术奖拟奖公示名单，拟授予捷佳伟创PD-380系列管式等离子体增强化学气相淀积设（PECVD）项目技术开发类

钝化和局部铝背场）工艺技术。PERC工艺采用原子层沉积(ALD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺，在硅片背面形成氧化铝膜层，然后再在该膜基础上生长一层氮化硅膜进行保护。通过在背钝化膜层采用

体量最大，吨位决定地位，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在PECVD、铸锭路多涎（音）切割机都可以做，也走到世界前列，中国光伏