PECVD

价格已经下降到7-8亿/GW，PECVD仍是难点。 耗材方面，低温银浆国产化基本成功，第二大耗材靶材的国产化也已完成，静待需求放量。 工艺方面，当前组件工艺还比较粗糙，将来硅片变薄需要组件端的制造

就出来了，所以对有些公司来说都可以做。但是PECVD里面有一些专利，所以要想做的话是绕不开专利这一块的。目前HJT在试跑阶段，公司都会遇到几个难点问题，第一个难点是产品一致性问题，另外一个是侧翻还有偏移，产品
1GWHJT投资在8亿左右，未来如果设备端尤其是PECVD环节能有比较大的突破的话，单位投资可能会降到5亿元，届时HJT的性价比将会比PERC更有竞争力。 标的方面，我们重点推荐通威股份、隆基股份

，HIT电池设备的单机产能相对较低，清洗机、PVD、丝网印刷机单机产能大约在200MW/台左右，PECVD只有100MW/台左右的产能。单机产能低是目前HIT电池投资较高的主要原因之一。 通过做大
关键时期，关注布局N-HJT的电池企业。推荐标的布局异质结整线的设备企业捷佳伟创、迈为股份以及重点突破PECVD环节的金辰股份，布局异质结产能的电池片厂商山煤国际、东方日升、爱康科技。 光大证券表示

、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和应用材料的设备比较成熟，但价格比较昂贵;国内钧石和理想有供货能力。清洗制绒机目前日本YAC比较成熟，YAC目前也在推进
打通工艺，国内设备厂跟进降本。当前国内HIT中试线基本以进口欧美日设备为主，但国内设备厂已经在积极研发，攻关的重点在PECVD设备，明年很可能会有大的突破。当前1GW进口设备价格约7-8亿元，一旦国产化

上成本最高的部分称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统用在硅异质结(SHJ)技术上成为可能，并且最近已经由Hevel LLC实现。 SHJ太阳能电池的简单结构，结合其高效率和低温处理的优势，使
它们对光伏产业非常有吸引力 SHJ太阳能电池的简单结构，结合其高效率和低温处理的优势，使它们对光伏产业非常有吸引力。这就是为什么Hevel已决定将其非晶硅/微晶硅生产线(其中包括了大量的PECVD

产品为电池片环节生产所需的部分设备和所需的零部件、原材料，有以下4类光伏设备： (1)等离子加强型化学气相沉积设备(PECVD)(2)低压化学气相沉积设备(LPCVD)(3)低压扩散炉(4)原子层沉积
，就必须避开知识产权问题，这直接导致ALD的市场应用前景可能会受影响。 PECVD、LPCVD一直是免税对象，两种设备重要性显而易见。 PECVD是PERC工艺技术的升级所需要的核心设备，根据

则在研发层面对多种技术路线保持跟踪，尚未有建立中试线的计划。 以捷佳伟创、迈为、金辰为代表的国内设备厂商在积极研发相关设备并取得一定进展，清洗制绒、PVD/RPD、丝网印刷都已突破，PECVD

高效电池技术路线中，HIT具有一些突出的物理特性和优势。近几年，国内外部分企业开始HIT电池的商业化尝试与推广，当前的主要矛盾是PECVD等核心装备的可用性，再之后可能是继续提高效率与耗材降本。综合产业端的现状
突破，唯一的难点在于PECVD，海内外众多企业都在集中攻关以提高PECVD的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。除PECVD等核心设备外，低温银浆、靶材研发也有较大的突破与进展

12月5日，金辰股份发布公告称，公司拟发行不超过3.74亿元的可转债，用于年产40台(套)光伏异质结(HJT)高效电池片用PECVD设备项目。 根据公告，该项目旨在开发研制光伏异质结(HJT
)高效电池用 PECVD 工艺装备并形成年产 40 台(套)该设备的生产能力。金辰介绍，该设备是 HJT 电池片生产线的核心工艺设备，用于制备 P 型非晶硅、N 型非晶硅和本征非晶硅薄膜。该项目已完

设备由于在性能、价格、服务上都具备优势，在常规电池线设备环节正在全面的进口替代，其中，丝网印刷等环节已经基本完成国产化，常规PECVD、扩散、蚀刻等环节的设备，国产设备也开始占据高份额，PERC的
关键设备如氧化铝PECVD也在逐步开始国产化。 3.国内核心设备公司业绩弹性、确定性较强。光伏电池设备环节产能比较集中，竞争也非常激烈，目前PERC电池的盈利能力明显强于常规电池，主流企业纷纷加速建设