PECVD

分别为7.2%，5.9%，5.0%。 捷佳伟创公司主营业务为PECVD设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。截至2020年03月11日，该公司股东人数(户)为15583，较上个统计日减少3512户。(完)

管式PECVD设备，辅材方面工器具需要重新购买。 而在组件端，需要更换串焊机和叠焊机工装、更换层压机、装框机等设备，流水线需要升级改造，且玻璃尺寸受窑炉限制。PVInfolink数据显示，166mm

抛光⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结⑥ PECVD 正面镀膜⑦ PECVD 背面镀膜⑧激光开槽⑨印刷烧结测试⑩电注入退火。相对黑硅多晶太阳电池的制备，增加了步骤④、⑤、⑦、⑧、⑩。 02结果讨论 2.1
PECVD、ALD 技术制备的氧化铝膜厚度分别在8～20 nm、4～7 nm 以内，印刷氧化铝膜厚是前者的几十倍，其膜层较厚处比较薄处增加了10 nm 以上( 见图4)。采用ALD技术制备氧化铝膜

、PECVD 沉积氮化硅膜、丝网印刷等工序。其中大部分设备可以和 perc+se 产线共用，只需要额外增加硼扩散、LPCVD 沉积(隧道结制备环节)、离子注入(或者扩散装备)和去绕镀清洗环节设备，便可
减少了扩散、刻蚀及烧结 3 个步骤，核心工艺为非晶硅薄膜沉积，PECVD 中非晶硅的生长可以看作是含硅的基团在衬底表面上的扩散与吸附，包括本征非晶硅的沉积与钝化以形成高质量的异质结面钝化层、掺杂非晶硅

设备;2)研制HJT非晶硅镀膜的核心设备板式PECVD，并具备整线供应能力。 目前公司自主研发的这两款设备正在产线上验证，预计2020年Q1出具结果，公司有望率先受益于HJT电池扩张周期。 此外

基地，扩展到了浙江义乌和天津。2017年爱旭科技成功研发出单晶PERC的管式PECVD量产技术，光电转换效率比普通单晶电池提升了10%，2018年爱旭科技进一步完成了PERC+SE和双面、双测、双分档

解决方案; 仍然存在的挑战： 主要是由于丝网印刷金属化厚的高掺杂多晶硅层是必需的; PECVD沉积工艺的绕度; 为了与一流的PERC生产线竞争，仍需要在整个工艺方案中节省大量成本。

已经能看到的实实在在的基础所在，可见量产技术正在进入成熟阶段;从核心设备上看，HJT四个步骤，受益于半导体产业过去几年国产化进步，最关键的PECVD国产化也已实现了质的飞跃。 由于PECVD国产化

(异质结)电池产线外，还可应用于 OLED、钙钛矿电池等诸多领域。 拆解异质结产线投资，其中非晶硅膜沉积及 TCO 镀膜占据研发实力及价值链制高点。其中，非晶硅镀膜 PECVD 及 TCO 镀膜的

沉积设备(PECVD 设备或 ALD 设备)和激光开槽设备即 可。 PERC 核心产品为 PECVD 设备、丝网印刷等。其中，捷佳伟创的核心产品 PECVD 设备和扩散炉均为自主研发，采用的核心技术