PECVD

测量设备已经用于PECVD工艺中。　　Nanometrics集成测量事业部主管Steve Bradley表示，新的IM产品与现有产品大为不同，将显著补充我们的IM业务。此次收购意味着我们将开始向领先半导体OEM厂商以及太阳能制造产业进军。

和多晶硅锭的浇铸方面将可能成为世界主要供应商之一。在设备制造方面，中国可能突破多晶硅浇铸炉、PECVD设备等技术瓶颈。但是2007年对中国太阳能产业的最大预期将是中国千吨级多晶硅提纯生产线的投产

、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、清洗机、单晶炉、铸锭炉等光伏装备和产品，以最快的建设速度、几乎全国产化的自有装备建成了75MW太阳能电池生产线。现在，国内的每一条太阳能电池生产线，都可看到48所的产品

pin结构电池，窗口层为掺硼的P型非晶硅，接着沉积一层未掺杂的i层，再沉积一层掺磷的N型非晶硅，并镀电极。 非晶硅电池一般采用PECVD

　　近日，应用材料公司建立了SunFab技术中心，该中心位于德国Alzenau，有超过400名员工，面积2000平米，装有的模块制造设备包括应用材料公司的PECVD和ATONTMPVD（物理气相沉积

公司的PECVD（等离子加强化学气相沉积）和ATON PVD（物理气相沉积）系统、激光设备以及工厂自动化软件等全系列能代表应用材料公司SunFab大规模太阳能面板制造薄膜生产线的设备。SunFab

junction)技术，号称可年产总电力达75兆瓦(magawwatts)的太阳能电池模块。 应材在该系统中采用自有的CVD和PVD制程来建构模块中最关键的层，并加上了目前已在平面显示器产业使用的PECVD玻璃基板制程系统。除了这套生产线设备，应材还可提供太阳能模块制造方面的特别服务。

片生产线上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但性价比优势明显；管式PECVD工艺结果接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连续式PECVD设备，自动化
，可靠性高、产能大，完全满足太阳能电池大规模生产的行业特点；8英寸立式扩散/氧化系统具有较好的性价比；管式PECVD的工艺结果也已接近世界先进水平，还获得了海外用户的青睐，该产品已出口。成绩的取得来源于公司

左右。主要厂商如下： 　　中国电子科技集团第48研究所：国内太阳能电池设备的最大供应商，所生产的扩散炉、等离子刻蚀机、低温烘干/高温烧结炉、管式PECVD等占据了绝大部分国产设备市场并开始出口，单晶炉
、管式PECVD、烘干/烧结炉、清洗腐蚀制绒设备以及周边PN结刻蚀设备等代表了当今世界的最高水平。 　　德国Roth&RaU公司、OTB公司、日本导津公司：平板PECVD设备国际领先。 　　意大利

刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉
)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)则完全依赖进口。 　　组件生产用的层压机、太阳模拟器等在行业获得广泛应用。 　　硅片加工设备中单晶炉以优良的