PECVD

德国光伏设备生产商Roth & Rau AG日前宣布收购了德国的微波系统生产商Muegge Electronic GmbH. 双方已经合作了很长一段时间了。微波系统是PECVD（减
PECVD微波能系统 Roth & Rau Dünnschicht Solar GmbH Roth & Rau Shanghai Trading Ltd. 销售及售后服务

6GW，但时程未定。SHARP现在与TEL(合资成立设备开发公司「东京ELECTRON PV」)进行大型玻璃基板的生产设备的开发，目前以开发TripleJunction用的PECVD为主，使用的玻璃

。SHARP现在与TEL(合资成立设备开发公司「东京ELECTRON PV」)进行大型玻璃基板的生产设备的开发，目前以开发Triple Junction用的PECVD为主，使用的玻璃基板尺吋为

（中国电子科技集团第四十八研究所）光伏产业项目，总投资8亿元，将形成100MW光伏产业链，预计产值将达到100亿元。48所是国内领先的太阳能光伏设备研发生产单位，先后成功开发了清洗机、扩散炉、PECVD

子科技集团第四十八研究所）光伏产业项目，总投资8亿元，将形成100MW光伏产业链，预计产值将达到100亿元。48所是国内领先的太阳能光伏设备研发生产单位，先后成功开发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机

淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(PECVD)法。此种制作工艺可以连续在多个真空淀积室完成，从而实现大批量生产。由于反应温度低，可在200℃左右的温度下制造，因此可以在玻璃

太阳能电池，其主要工序（PECVD）与TFT-LCD阵列生产相似，生产方式均具有自动化程度高、生产效率高的特点。 　　高温性能好：当太阳能电池工作温度高于标准测试温度25℃时，其最佳输出功率会有所下降

大公司的品牌进入国际市场，使其具有较强的竞争力。 中国光伏产业相关设备的生产也存在明显的问题。首先，部分关键设备仍然无法国产化，完全依赖进口。多晶硅浇铸炉、线切割机、PECVD等设备几乎

方面的技术，这主要是一项能够在很薄的材料上读写数据的一项技术。 使用类似的技术将用来生产电池板，一般使用一种叫PECVD的设备，借助等离子体将气体的氮化硅均匀的沉淀下来，生成片基。从而高质量地来防止

，正电极和背电极层 2. KAI1200为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，非晶和微晶硅光敏层 3. LSS 1200激光划线来制作串联电池。 (编辑:xiaoyao)