PECVD

供应商们会迎来新的机遇，最直观的一个现象是在制造c-Si晶体硅电池的过程中用于PEVCD工具上的花费就高达7.5亿美元。另外，Meyer Burger也已计划接管德国的热德公司，Rau的PECVD订单

。在首席执行官Eric Kim的领导下，公司正迅速扩展其基于美国的批量生产制造能力。 公司所购买的三套系统包括790+ RIE、VERSALINE PECVD和VERSALINE ICP。通过提供

、开放式自动化解决方案应用于光伏制造领域、丝网印刷方案、全自动串焊机方案、PECVD，MOCVD应用方案、扩散炉方案、单晶硅炉，多晶硅铸锭炉方案。 倍福基于PC的控制技术在丝网印刷方面可以非常
硅晶片的碎片率的同时，还可以大大提高生产效率。另外，倍福16位精度的 EL3314温度测量模块温度场控制精确，在PECVD、MOCVD以及单晶硅炉，多晶硅铸锭炉中有着绝对优势。 凭借着自身

领域、丝网印刷方案、全自动串焊机方案、PECVD，MOCVD应用方案、扩散炉方案、单晶硅炉，多晶硅铸锭炉方案。倍福基于PC的控制技术在丝网印刷方面可以非常方便的把视觉处理，矫正，直线电机运动控制非常
。另外，倍福16位精度的 EL3314温度测量模块温度场控制精确，在PECVD、MOCVD以及单晶硅炉，多晶硅铸锭炉中有着绝对优势。凭借着自身产品以及解决方案的优势，在3天的展期中，倍福展台吸引了大量专业观众的驻足观看，这代表了倍福基于PC的控制技术应用于光伏领域将获得越来越多的青睐与肯定。

能源设备有限公司，已经成功地研制出低压化学气相沉积设备(LPCVD)、等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)，填补了光伏电池高端设备国产化的空白，其成本也随之降低20%。辅之技术的创新，我们的

人部门及专项支持：表面工程事业部任职要求：（1）具有从事薄膜制备、真空机械、等离子体技术等方向工作和学习背景的工程技术人员。（2）在硅基薄膜制备技术、PECVD装备制造维护等领域有工作经验，有相关论文和

PECVD的产能提升了20%，年可为企业创造效益1400万元。一种新型BSGS钢瓶锁头既提高了侦测的精度和可靠性，又增强了安全性。一种刻蚀机射频控制能够对射频功率进行在线检测，避免了人员检测不到或检测

、国产化的高端薄膜电池生产核心装备（PECVD、LPCVD），成本上仅为国外进口同类设备的1/3。在研发投入上，南存辉话语间显得信心十足。正泰就光伏产业技术研发上的投入占到了相关产品销售额的10

。从这一点来看，国家提出将高端装备制造业作为战略性新兴产业具有深远意义。他举例说道，正泰研制成功的、国产化的高端薄膜电池生产核心装备（PECVD、LPCVD），成本上仅为国外进口同类设备的1/3。　　在研发

（PECVD）在上海理想能源设备公司正式下线。消息传来，引起业内高度关注。 　　王斯成在接受本报采访时表示，这台设备虽已研制成功，但尚未投入使用，其效果如何，是否具备替代同类进口装备的能力，仍有