PECVD

氢化炉、多线切割机、自动焊接机等设备仍需进口，但未来都有望逐渐实现国产化。 　　今年初，我国首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产装备等离子体增强型化学气相沉积装备（PECVD）在上海理想

代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产装备等离子体增强型化学气相沉积装备（PECVD）在上海理想能源设备公司正式下线。消息传来，引起业内高度关注。王斯成表示，这台设备虽已研制成功，但尚未投入使用

沉积设备（PECVD）在正泰下属企业成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面。进口装备耗资1亿多美元，正泰自己研发的国产设备可比使用进口设备节省50％的成本。　　随着设备成本的下降

，包括英利、尚德、中电等等，应用范围也从简单的涂胶、普通搬运扩展到复杂的PECVD等工艺设备自动化机构。目前国内光伏行业正处于蓬勃兴起的阶段，新的工艺不断涌现，制造成本从原来完全以国外引进到的高门槛投资

。KAI设备是一个全自动化的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。该系统是为非晶或微晶光伏吸收层的沉积功能所设计，是欧瑞康太阳能已验证的生产线的

决方案，包括工业机器人、低压产品以及光伏产品。 在本次展览中，ABB机器人自动工作站——管式PECVD石墨舟取片/插片系统将隆重登场。该工作站配备有ABB“全能冠军”之称的机器人IRB 1600
，每小时最高可达3000次的取片及插片，被广泛应用于太阳能管式PECVD工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156mm、单晶/多晶太阳能硅片，从而将人工从高强度的重复劳动中解放出来，有效减少了熟练工

看到，ABB展示针对太阳能行业的一系列先进产品、技术和解决方案，包括工业机器人、低压产品、光伏产品以及可编程逻辑控制器。其中，专用于管式PECVD石墨舟取片/插片的ABB机器人自动工作站配备有ABB
全能冠军之称的机器人IRB 1600，被广泛应用于太阳能管式PECVD工艺流程石墨舟的取片/插片。　　艾默生网络能源展示了面向光伏行业创新推出的一系列解决方案。LSPV光伏并网发电解决方案和BIPV

并不意味着薄膜电池败局已定。　　2月中旬，一种薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD）在上海张江理想能源设备公司正式下线。这种设备能大幅降低硅薄膜电池生产成本，打破

现场看到，ABB展示针对太阳能行业的一系列先进产品、技术和解决方案，包括工业机器人、低压产品、光伏产品以及可编程逻辑控制器。其中，专用于管式PECVD石墨舟取片/插片的ABB机器人自动工作站配备有
ABB“全能冠军”之称的机器人IRB 1600，被广泛应用于太阳能管式PECVD工艺流程石墨舟的取片/插片。 　　艾默生网络能源展示了面向光伏行业创新推出的一系列解决方案。LSPV光伏并网发电解决方案和

PECVD、丝网印刷、高温烧结、 冷却测试分选、层压等全套设备，各条生产线均配置了先进的电阻率测试仪、少子寿命测试 仪、金相显微镜、四探针测试仪、P/N 结测试仪、椭偏仪、台阶仪、太阳能单体分选机、隐