PECVD

/索比太阳能光伏网 记者 明今编译） 2011年8月4日，SINGULUS技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（ICP-PECVD）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届

专业从事太阳能应用设备、半导体制造设备研发、设计和制造的高科技合资企业。产品主要有太阳能逆变器、射频电源、射频自动匹配器、射频功率分配器，广泛用于太阳能光伏系统、PECVD、真空镀镆、刻蚀等真空设备当中

出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在
逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳模拟器等在行业获得广泛应用。硅片加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量

超过1亿元人民币，该线核心装备PECVD和真空溅射设备与美国著名真空制造企业合作生产，激光刻线机采用全球著名的德国企业高精度产品。整线装备精良，产能大，每MW投入只有166万元（约26万美元），该投

日前，由中国航天科技集团公司八院航天机电太阳能公司承担的技术推广项目连续式等离子体太阳电池减反射膜制备系统开发，顺利通过了国家国防科工局和中国航天科技集团公司验收。该项目完成了PECVD系统集成的

，国产的PECVD还没有成为新建和扩产项目的首选，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急。中国的光伏企业应该把握新能源制高点的核心领域，积极

成品率与美国GT公司的铸锭炉相比较，还相差3～5个百分点，国产线锯在切片的成品率和直通率方面也有待改进。在电池片制备中，国产的PECVD还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的PECVD设备

差距。目前国产铸锭炉的铸锭成品率与美国GT公司的铸锭炉相比较，还相差3～5个百分点，国产线锯在切片的成品率和直通率方面也有待改进。　　在电池片制备中，国产的PECVD还没有成为新建和扩产项目的首选
，这说明它与国外先进的PECVD设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急。

结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、PECVD、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺，生产出HCPV芯片。HCPV芯片的主要生产商有美国的Spectrolab

PECVD、快速烧结炉和进口设备并存但份额在逐步增大，全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD已替代进口。组件生产用的层压机等在行业获得广泛应用。单晶炉、多线切割机已出口，45所生产的DXQ-601型