PECVD

13%以上的市场份额。各种薄膜电池都有一些瓶颈问题尚未解决。目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法，真空腔的清洗基本是氟化物

。各种薄膜电池都有一些瓶颈问题尚未解决。目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(SF6或NF3)，排出

，过去一直依赖进口，现在国产设备已经有所突破，尽管较进口设备在产能、稳定性等方面还有一定差距，但已开始小批量进入用户的生产线试用。融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式PECVD、全自动
需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。扩散炉和PECVD，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。随着工艺技术的发展、硅片

不同波段的太阳光光谱，从而可以对太阳光进行全谱线吸收。HCPV芯片的生产过程如下，首先利用MOCVD技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成3结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、PECVD、蒸镀

制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等；电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式PECVD、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪

来自香港上市公司——铂阳太阳能(00566.HK). 　　2010年6月16日，铂阳太阳能公告称，与汉能控股签订了巨额销售合同，合同总金额为25.5亿美元。上述销售合同包含了420台PECVD设备及

自动化、MOCVD等项目上开展研发。我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式PECVD，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。华伯公司负责人说。目前，第一台设备已经下线，总装项目的开工将加速整个生产进程。据介绍，华伯正与一些国内外企业展开合作，即将签约一批合作项目。

自动化、MOCVD等项目上开展研发。“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式PECVD，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。目前，第一台设备已经下线，总装项目的开工将加速整个生产进程。据介绍，华伯正与一些国内外企业展开合作，即将签约一批合作项目。

。 2月中旬，欧瑞康收到了东旭集团购买2台KAI设备的订单。KAI设备是一个全自动化的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。该系统为非晶

成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一设备发展到单台设备与工艺结合，又从整线设备发展到整线设备与工艺结合的“整线交钥匙”系统