PECVD

索比光伏网讯:众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。其中非晶硅电池具有极高的光吸收系数，且容易大规模生产，是目前较为
不均匀严重的影响了器件的转换效率，尤其是在第三结子电池上为了更好的吸收红外光波必须增加锗的含量势必加重锗的分布不均匀的情况，这种空间上的分布不均匀在单室多片的平行模式PECVD系统中尤其明显。由于锗烷更

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。其中非晶硅电池具有极高的光吸收系数，且容易大规模生产，是目前较为普遍的硅基薄膜
了器件的转换效率，尤其是在第三结子电池上为了更好的吸收红外光波必须增加锗的含量势必加重锗的分布不均匀的情况，这种空间上的分布不均匀在单室多片的平行模式PECVD系统中尤其明显。由于锗烷更容易被分解

在整洁的车间里，记者参观了汉能控股集团薄膜太阳能电池生产线，这条生产线采用汉能自主研发的PECVD核心装备和工艺技术，已达到全球领先水平。国内权威工程咨询机构中国国际工程咨询公司曾组织业内权威专家进行

PVD or PECVD technology, and which have been developed on a customer-specific basis, are appropriate

索比光伏网讯:众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。其中非晶硅电池具有极高的光吸收系数，且容易大规模生产，是目前较为
不均匀严重的影响了器件的转换效率，尤其是在第三结子电池上为了更好的吸收红外光波必须增加锗的含量势必加重锗的分布不均匀的情况，这种空间上的分布不均匀在单室多片的平行模式PECVD系统中尤其明显。由于锗烷更

、CEC、CE、ISO14001和ISO9001认证。还先后投资440万美元引入先进生产设备，其中包括德国得可（DEK）丝网印刷机，德国Roth & Rau公司的PECVD系统，美国Despatch公司的

两个表面同时进行清洗、干燥。首先磁控溅射沉积金属和金属氧化层，以增强衬底的反射率。然后采用等离子体化学气相沉积法(PECVD)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤

本研究使用德国ROTH&RAU科学仪器研制中心制造的PECVD-SiNA1型设备制备不同厚度的SiN薄膜。测试设备用：SENTECH生产SE-400ADV的激光偏振仪；SEMILAB生产的WT-2000
99．999％。N2主要用于在沉积完薄膜后清洗气路和反应室，它们的纯度都为99．999％。PECVD系统主要工艺参数包括射频功率、反应气体组分、气体总流量、衬底温度和反应压力等，这些参数对SiN薄膜的性能

索比光伏网讯:日前，SINGULUS技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（ICP-PECVD）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届德国汉堡的EU—PVSEC上展出

/索比太阳能光伏网 记者 明今编译） 2011年8月4日，SINGULUS技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（ICP-PECVD）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届