PECVD

ZTR-ELZU-HDK快速移栽机器人主要用于对太阳能硅片及电池片上下料的应用，是目前世界上速度最快的四轴机器人之一，每小时高达4000片的拾取速度和高达2公斤的有效负载，被广泛应用于PECVD、清洗、制绒工艺环节的上下

薄膜电池LPCVD、PECVD工艺、电池结构和组件结构的研究，优化了前后透明导电极的镀膜工艺参数和电压与电流的匹配，研发出了性能优良的非晶-微晶薄膜材料及电池，有效地提高了产品转换效率，在产品

；2011年，光伏发电系统造价为进一步降至15-16元/瓦，组件销售价格降至9-10元/瓦。 　　“十二五”期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷

期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。积极推动建立产业技术战略联盟，集中

/瓦，组件销售价格降至9-10元/瓦。十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术

,组件销售价格降为12-15元/瓦;2011年,光伏发电系统造价为进一步降至15-16元/瓦,组件销售价格降至9-10元/瓦。十二五期间,我国应继续通过863、973等科研计划,支持多线切割机、PECVD

/瓦。十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。积极推动建立产业技术战略联盟

。　　一是以进入智能电网、量测技术、能效管理等领域为标志，实现了产品结构由生产高低压电器和成套输配电设备向提供全面解决方案的方向转型。　　二是以首台“中国造”太阳能薄膜制造装备LPCVD、PECVD,在

，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备
和PECVD等薄膜太阳能电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。(八)配套辅料在关键配套辅料方面，实现坩埚、高纯石墨、高纯石英砂、碳碳复合材料、玻璃、EVA胶、背板

单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等
晶硅太阳能电池片生产线设备和PECVD等薄膜太阳能电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。(八)配套辅料在关键配套辅料方面，实现坩埚、高纯石墨、高纯石英砂、碳碳复合材料