PECVD

薄膜电池LPCVD、PECVD工艺、电池结构和组件结构的研究，优化了前后透明导电极的镀膜工艺参数和电压与电流的匹配，研发出了性能优良的非晶-微晶薄膜材料及电池，有效地提高了产品转换效率，在产品

；2011年，光伏发电系统造价为进一步降至15-16元/瓦，组件销售价格降至9-10元/瓦。 　　“十二五”期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷

期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。积极推动建立产业技术战略联盟，集中

/瓦，组件销售价格降至9-10元/瓦。十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术

,组件销售价格降为12-15元/瓦;2011年,光伏发电系统造价为进一步降至15-16元/瓦,组件销售价格降至9-10元/瓦。十二五期间,我国应继续通过863、973等科研计划,支持多线切割机、PECVD

/瓦。十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。积极推动建立产业技术战略联盟

。　　一是以进入智能电网、量测技术、能效管理等领域为标志，实现了产品结构由生产高低压电器和成套输配电设备向提供全面解决方案的方向转型。　　二是以首台“中国造”太阳能薄膜制造装备LPCVD、PECVD,在

，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备
和PECVD等薄膜太阳能电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。(八)配套辅料在关键配套辅料方面，实现坩埚、高纯石墨、高纯石英砂、碳碳复合材料、玻璃、EVA胶、背板

单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等
晶硅太阳能电池片生产线设备和PECVD等薄膜太阳能电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。(八)配套辅料在关键配套辅料方面，实现坩埚、高纯石墨、高纯石英砂、碳碳复合材料

我们新开发C.NITEInline设备，是将我们具有多年实践经验的管式PECVD的优点和连续在线生产的创新技术完美结合。通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。此外，与市场中其他类型的
PECVD相比，它具有优化的结构设计，故无需定期停机清洁腔体，确保了最长的连续运行时间。还有我们推出的新一代烧结炉c.Fire,可以保证最高质量的工艺控制。在很多情况下，生产工艺的优化，并不是一定