MOCVD

有机金属化学汽相沉积系统(MOCVD)设备大厂Veeco Instruments Inc.于26日美国股市盘后宣布，该公司已经接获来自中国LED芯片生产商厦门三安光电(Xiamen Sanan
OptoElectronics)的TurboDisc MOCVD设备订单。 三安光电执行长Simon Lin表示，该公司将利用Veeco的高效率MOCVD设备来扩充厦门厂、天津厂高亮度LED产能

大型生产线。台湾及中国大陆也在计划建设大型生产线。估计液晶制造装置市场将于09年底恢复好转。 　　功率半导体及LED方面的投资愈发活跃。通过投资LED而扩大的制造装置需求仅限于MOCVD装置、蚀刻

MOCVD设备，LED外延片产能为50万片，芯片产能为160亿粒，LED产能在亚太地区排名第四。公司原为ST三安，自2008年第三季度开始实现盈利，主要原因是2008年7月进行了资产重组，三安电子成功

制造工艺，如刻蚀、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中国分公司总经理许坚说。“制造工艺的复杂度不断提升，对包括真空泵在内的设备硬件提出了更苛刻的要求

Reactor系统。该系统将用于MOCVD生长法生产锗/三五族太阳能电池。这两套系统都是为高聚光光伏研究项目而配备的。 核能研究所已经从事三五族电池技术的开发很多年了。他们表示，通过和有关

(metal-oxide chemical vapor deposition, MOCVD)来生长纳米线。Motohisa等人使用的纳米线具有平均直径为135 nm的p型InP内核，外面包覆n型外壳，整体直径为

，因能高产量生产出超高质量薄膜，并转化成更高效、高成品率的多结太阳能电池，从而有效地新降低太阳能电池每瓦成本。TurboDisc E475是行业内领先的最大产能的MOCVD系统，针对大批量化合物材料的
%的产能并进一步降低了成本。除多结太阳能电池外，该系统还可用于HBT、pHEMT器件，以及红、橙和黄光高亮度LED、激光二极管等。其TurboDisc K系列GaN MOCVD系统，主要用于大批量

CIGS热沉积源，因能高产量生产出超高质量薄膜，并转化成更高效、高成品率的多结太阳能电池，从而有效地新降低太阳能电池每瓦成本。TurboDisc E475是行业内领先的最大产能的MOCVD系统，针对
E450提高了15%的产能并进一步降低了成本。 除多结太阳能电池外，该系统还可用于HBT、pHEMT器件，以及红、橙和黄光高亮度LED、激光二极管等。其TurboDisc K系列GaN MOCVD系统

。西安电子科技大学微电子学院在LED产业上游中的MOCVD设备和外延片生产长拥有多项技术专利，目前在国内的技术综合水平处在第一。铜川麟字特种电源有限公司，也是全国技术领先的超高亮LED电源生产厂家

– Generation F现场制造的氟气。 LEAP是指用高纯容器包装的液态有机金属先驱体，其用于先进的半导体制造工艺如原子层沉积（ALD）和金属-有机化学气相沉积（MOCVD）等。 林德独有