CVD公司

基板，就可以制造太阳能电池Cell（带组件）。目前，TCO玻璃全球仅有日本的两家公司在进行生产，制造薄膜太阳能电池的公司，均要向这两家公司进口。EVATECH通过数年的研发与实验，新近推出了AP-CVD

光伏装机容量增速将有所减缓。根据Display bank公司的最新预测，受世界经济下滑、需求减少、投资放缓的影响，未来两年全球光伏市场容量和增长速度均比先前预测的要低，但光伏产业作为未来能源产业发展的
结构设计、分析检测需要大量专业人员外，化学气相沉积(CVD)、真空溅射、激光刻线等特殊工艺，以及包括多种特殊气体、高纯水、净化空调系统等的厂务支持系统，都需要大量有专业知识背景和实际操作经验的员工。而由

硅价格的变化不是那么敏感。然而，非晶硅电池的转换效率仅仅为5%～6%，远低于晶体硅电池。MHI采用高性能的等离子CVD系统，将微晶硅层沉积到非晶硅层上，使得其产出率从100W提高到110W。转换效率也从
6.3%提升到7%。鉴于非晶硅太阳能电池比较高的耐高温特性，MHI计划将产品针对于南欧光伏市场。 　　当MHI叠层太阳能电池的转换效率保持在8%左右时，公司将与鹿儿岛大学合作以获得进一步的性能提升

，是因为采用了该公司基于特殊有机材料的湿法成膜技术“Electrografting”。该技术可直接利用现有的镀膜装置。无需CVD等干法工艺中采用的高价位成膜装置，装置的折旧成本大幅降低。 　　普通的

Dynamic Engineering 公司（DEI）与江苏中能硅业签署了多晶硅服务合同，该项服务包括提高三氯硅烷的纯度和除杂能力，优化现有的CVD反应器，通过使用DEI公司的专利DCS转化

8.5代，面积为5.7m2的玻璃制成的串联式薄膜太阳能电池面板。“制造设备很早以前就已备好，但因面板过大，申请IEC认证花费了很长时间”（该公司）。该面板稳定后的模块转换效率为8％。“目标是2010年
转换效率达到10％，成本降至1美元/W的电网平价（Grid Parity，发电成本与商用电力相当）”（该公司）。 爱发科强调“性能及成本都不会输给竞争对手” 　　爱发科在该展会开幕的前一天刚刚发布

，模块的最大输出功率约为130W。该公司现有薄膜硅太阳能电池的转换效率约为7％，最大输出功率约为100W。该公司表示，通过采用串联结构，可将单位输出功率的生产成本降低约10％。 微结晶硅
薄膜用PE-CVD设备“CIM-1400”的外观。靠前面的是底板送入及取出口。其后面依次为加载互锁室、PE-CVD室及泵类等。 　　串联结构的薄膜硅太阳能电池由非晶硅薄膜和微结晶硅薄膜构成。其中，在仅由

、硅锗之CVD磊晶成长技术及经验。2006年5月在浙江省海宁市袁花镇中国太阳能基地创建太阳谷公司，预计在2007年可投入第一条线，公司的发展受到了省、市等各级政府的大力支持，给太阳谷公司和光伏产业注入极大的动力和鼓励。（Solarbe原创未经许可，转载必究！）

、硅锗之CVD磊晶成长技术及经验。2006年5月在浙江省海宁市袁花镇中国太阳能基地创建太阳谷公司，预计在2007年可投入第一条线，公司的发展受到了省、市等各级政府的大力支持，给太阳谷公司和光伏产业注入极大的动力和鼓励。（Solarbe原创未经许可，转载必究！）

SiNx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（CVD法）、等离子增强化学气相沉积（PECVD法）、低压化学气相沉积法（LPCVD法）。在目前产业上常用的是PECVD法。 PECVD法按沉积腔室等离子
主要制造商为德国的Centrotherm公司、中国的第四十八研究所、七星华创公司。 　　（2）板式PECVD系统：即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的