CVD公司
(纯度要求在99.5%以上)与氯化氢(HCl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(SiHCl3，下文简称TCS)，然后将TCS精馏提纯，最后通过还原反应和化学气相沉积(CVD)将高纯度的TCS转化为高纯度
为TCS，并与尾气中分离出来的TCS一起送入精馏提纯系统循环利用，尾气中分离出来的氢气被送回还原炉，氯化氢被送回TCS合成装置，均实现了闭路循环利用。这是改良西门子法和传统西门子法最大的区别。CVD
（Fyzikln stav AV ČR， v. v. i）
斯洛文尼亚卢布尔雅那大学（Univerza v Ljubljani）
英国公司CVD Technologies
荷兰乌特勒支大学
目前欧盟正在进行一项名为Fast Track的大规模联合研究计划，该计划由德国于利希研究中心牵头协调，旨在向市场提供下一代薄膜太阳能技术。这项计划由欧洲18家领先的业内公司和科研机构参加，其共同
提纯方法主要有西门子法(气相沉淀反应法)、甲硅烷热分解法、流态化床法，而物理提纯方法主要有区域熔化提纯法(FZ)、直拉单晶法(CZ)、定向凝固多晶硅锭法(铸造法)。图1是西门子公司的代表在2008年
进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。2 流化床法硅烷法硅烷热分解法硅烷(SiH4)是以四氯化硅
硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。2、硅烷法硅烷热分解法硅烷是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等
方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。但美国Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高
行业的反倾销、反补贴判决案再次推迟，表明其目前没有充分的证据说明中国过度的补贴光伏行业，美国近年来对多晶硅厂的补贴也高达上亿美金，另外光伏行业中的铸锭设备基本被美国GTsolar这家年轻的公司所垄断，其
，以及维持技术上的领先，限制进口组件；一旦开始征收关税将不利于光伏行业的正常发展，solarword这家公司已开始向欧委会提起针对中国的光伏组件反倾销诉讼，一旦美国开始征收附加关税，欧洲会开始效仿
索比光伏网讯:GT Advanced Technologies Inc.（纳斯达克股票代码：GTAT）今天宣布，该公司已获得一家多晶硅生产商一份价值1.013亿美元的CVD反应器和辅助生产设备订单
首次向一家大型多晶硅生产商销售CVD反应器，具有显著的里程碑意义。这进一步证明了我们向多晶硅行业提供高效率设备和服务，生产低成本、高品质多晶硅的能力。我们已与该客户合作了一段时间，我们期待继续为其提供
OFweek太阳能光伏网编译：CVD Equipment公司公布2011年新订单总额超过3，600万美元，较2010年的2，500万美元增长44%。CVD/FN部门获得的生产和研究系统新订单约为
纳米线和其它纳米材料制造中的应用之外，公司将继续寻求化学汽相沉积（CVD）解决方案的新应用。凭借公司的应用实验室，CVD Equipment将继续完善并拓展其解决方案所能应用的多个领域。航空、医疗
来自工研院，着重于技术的研发。该公司产品主要应用于薄膜太阳能、Touch Panel，并朝LED MO CVD设备进军。北儒精密董事长曾政富表示，该公司主要以经营光电相关产业，如应用于薄膜太阳能
近日，光电产业整合型系统供应商北儒精密正式于兴柜市场挂牌买卖，并将于3Q12提出上市申请。 主办承销商元富证券指出，北儒精密成立于2005年5月，目前股本11.5亿元新台币，公司高层主管主要
SIMvzw的分公司Flamac表示他们将同imec合作开发光伏电池应用的新型半导体材料。此次合作生产的是标准CIGS光伏电池的替代材料。Flamac将继续改进PVD/PE-CVD镀膜技术，能自动
处理不同的薄膜材料。该技术有8个工艺室，据说更适合研究PVD和PE-CVD喷涂工艺。Imec负责继续研究光伏电池，目的是改进效率和不同技术的生产能力，包括硅基光伏电池和薄膜光伏电池。Imec的能源项目
索比光伏网讯:作者简介：李军阳，男，高级工程师，长期从事半导体工艺设备开发与研究工作，近年来致力于太阳电池用PECVD设备在国内的研发及工艺研究并取得重大突破，现任职深圳市大族光伏科技股份有限公司
直接的影响，本文的目的就是研究工艺气体流量对膜性能的影响。以实验的数据来阐述。 1机理分析 1.1气体的输运 在CVD系统中，气体的流动处于黏滞流的状态。气体的输运过程对薄膜的沉积速度、薄膜
