CVD公司

生产控制在少数国外厂商手中，如板硝子、旭硝子。侯英兰说，我国近年来虽然有多家研究机构和公司申请了TCO镀膜的发明专利，但仍未真正实现产业化，并且镀膜设备仍受国外生产商控制。难点还是在工艺和设备设计方面
产品仅有日本旭硝子和英国皮尔金顿两家公司能够生产。　　薄膜太阳能电池拉动TCO玻璃需求高增长太阳能电池（光伏电池）主要分为晶体硅电池和薄膜电池，当前晶体硅占整个光伏市场80%的份额，薄膜电池占比约20

PV17-0611涉及到利用多种工艺方法生产的多晶硅材料详细规范，包括化学气相沉积（CVD）法、冶金还原法和其他工艺方法。CVD工艺中包括了所谓的“西门子法”、流化床法、粉末法和其它使用蒸馏硅烷或卤化硅混合物
公司，无论规模大小，在SEMI标准制定平台上，只有唯一的一票投票权，有效防止垄断。在这点上，SEMI标准与传统意义上的强制性标准有所差异。” 　　James Amano说：“SEMI不以为产业设置门槛为目标，而是要达到降低产业壁垒，反对产业垄断的目的。”

Siemens法的高耗能CVD气相方式且添加许多有毒物质，也可以取得去除掉大部分磷(P)、錋(B)、氧(O)、碳(C)等杂质的低成本高纯度多晶矽，最重要的是，可以让太阳能发电1kWh低于1美元的理想提早实现
长荣化工与亿光电子合资成立的福聚太阳能公司，采用德国Centrotherm SiTec西门子改良法，投资新台币150亿元在南科设立多晶矽厂，预计第1阶年产量达5,000公吨，设备产能可升级至8,000

（CVD）法、冶金还原法和其他工艺方法。CVD工艺中包括了所谓的西门子法、流化床法、粉末法和其它使用蒸馏硅烷或卤化硅混合物的方法。这些特殊材料可用于生长单晶，铸造多晶，以及其他方法生长多晶硅材料，从而
参与者公平参与标准的起草和制定过程。所有公司，无论规模大小，在SEMI标准制定平台上，只有唯一的一票投票权，有效防止垄断。在这点上，SEMI标准与传统意义上的强制性标准有所差异。James Amano说：SEMI不以为产业设置门槛为目标，而是要达到降低产业壁垒，反对产业垄断的目的。

氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和产业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅
分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松把握此技术，由于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。但美国Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。　　　　3流化床法

在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 　　国内外现有的多晶硅厂尽大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。 　　2 硅烷法——硅烷热分解法 　　硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金
SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。 　　3 流化床法 　　以四氯化硅、氢气、氯化氢和产业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下天生三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢

最低水平的成本生产高纯度硅。” GT的多晶硅生产设备包括业内生产率及能效最高的化学汽相淀积（CVD）反应器以及包括氯氢化、硅芯与产品加工设备技术在内的全套技术，该公司的多晶硅生产设备是一项完善、低成本的端
International, Inc.（纳斯达克股票代码：SOLR）今天宣布，该公司已获得两家亚洲新客户价值8170万美元的多晶硅生产设备订单。该公司最近获得的订单包括用于生产三氯硅烷（TCS）的氯

上担任过产品经理，以及ASM(欧洲)公司的总经理等职。Hasper博士为半导体和资本设备市场撰写了逾25篇杂志文章及会议论文，并持有CVD和ALD沉积技术和资本设备设计等领域内的十项美国专利。同时
Amtech Systems公司日前对其管理层做出了调整，任命Albert Hasper博士为Tempress Systems总经理，同时升任布拉德安德森先生为公司执行副总裁。Hasper博士此前

导瑞士科学家在柔性塑料衬底上制备出18.7%转换效率的 CIGS电池，柔性电池的主要优点是可以采用卷对卷工艺来降低制造成本。上图给出了美国Global Solar公司的产品示意图。柔性电池产业化道路上的
%、6%～8%、7%～10%，主要生产单位有美国的 United Solar System公司，欧洲的VHF-technologies公司，日本的Kaneka、Sharp、Sanyo、三菱等公司，中国

衬底上制备出18.7%转换效率的CIGS电池，柔性电池的主要优点是可以采用卷对卷工艺来降低制造成本。上图给出了美国Global Solar公司的产品示意图。柔性电池产业化道路上的主要障碍是如何在低温
硅基薄膜太阳能电池有单结、双结和三结结构，光电转换效率分别为5%～6%、6%～8%、7%～10%，主要生产单位有美国的United Solar System公司，欧洲的VHF-technologies