钝化层
等离子体增强化学气相沉积法、氢化非晶硅、热氧化法、原子层沉积法以及叠层钝化，并分别介绍了它们在应用上的优缺点。分析了制备钝化膜过程中存在的问题，并提出了相应措施及发展趋势。表面钝化技术是提高晶体硅电池
、性能上的优势，但目前市场主流却仍是PERC技术，归根结底在于PERC更低的成本带来的价格优势。据了解，PERC双面组件只需基于现有产线增加沉积背钝化层和背面激光开槽两道工序，几乎不增加额外成本。因此未来
%的功率衰减，即使采用氢钝化等技术也无法完全消除光衰;而N型双面则与PERC双面不同，基底掺磷，没有硼氧对形成复合中心的损失，使得电池几乎无光致衰减。
(3)弱光性良好。相比P型单晶，N型单晶对弱光
更低的成本带来的价格优势。据了解，PERC双面组件只需基于现有产线增加沉积背钝化层和背面激光开槽两道工序，几乎不增加额外成本。因此未来N型双面技术如何实现有效降本，将成为其提升市场竞争力、争夺市场份额
，在基底中捕获电子形成复合中心，从而导致3~4%的功率衰减，即使采用氢钝化等技术也无法完全消除光衰;而N型双面则与PERC双面不同，基底掺磷，没有硼氧对形成复合中心的损失，使得电池几乎无光
镀膜的最优工艺参数。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量
PECVD系统为逆径向流反应室结构,最大镀膜直径为230mm;采用二级射频等离子体发生装置,上电极兼气流分配器,下电极放置衬底兼加热(图1)。氮化硅膜层的制备过程:源气体扩散,通过喷头均匀送入反应室;在
来源：太阳能杂志 摘要：以Al2O3/SixNy为钝化层，制备了PERC单晶硅太阳电池，研究Al2O3钝化层厚度对钝化效果的影响，分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响
如下： 1.局部接触，减少复合损失 2.背面具有高反光，可以减少背表面光吸收，增加内反射，提高光利用率 3.背面是钝化层，减少表面复合损失，降低复合速率 背表面钝化不仅可以提高光的利用率
太阳电池的钝化层直接影响太阳电池的性能，钝化层界面上固定电荷密度和缺陷密度是分析其钝化效果的关键参数。本文通过建立MOS模型来模拟钝化层的电容-电压(C-V)特性曲线，并使用函数表达模拟曲线，建立
发展专项项目的通知，其中，支持钝化发射极及背局域接触(PERC)以及双面PERC、本征薄膜异质结(HIT)、全背电极接触晶硅(IBC)、N型双面、金属穿孔卷绕(MWT)、黑硅多晶、新型(柔性)薄膜、多主
栅/半片/无热斑等先进光伏电池及组件技术研发及产业化。鼓励开展铁电-半导体耦合、新型叠层、钙钛矿、染料敏化等新型光伏电池技术及组件研发和产业化。支持高强度耐磨金刚石线锯、高效光伏焊带、高可靠性光伏电池
常规技术。PERC近年来效率记录不断被刷新，将成为未来三年内最具性价比的技术。
(单面PERC电池结构)
PERC技术通过在电池的后侧上添加一个电介质钝化层来提高转换效率。标准电池结构中更好的
情况下实现双面发电，在系统端实现10%-25%的发电增益，极大地增强了PERC技术的竞争力与未来发展潜力。
PERC电池生产流程
概述流程
PERC 电池的生产流程包括：沉积背面钝化层
载流子复合，提高表面钝化效果;
(3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。
目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光PSG掺杂法由于
研究的热点。激光PSG掺杂法是采用扩散时产生的磷硅玻璃层作为掺杂源进行激光扫描，形成重掺杂区。目前虽然对激光掺杂选择性发射极太阳电池的理论研究和实验的报道很多，但是在实际的大规模生产中，仍然存在着扩散
