表面等离子

等离子体浸没离子注入法成功制备出具有不同绒面结构的多晶黑硅。利用原子力显微镜（AFM）、分光光度计和量子效率测试仪分别对黑硅的表面结构、反射率和内量子效率进行了分析研究。研究结果表明，使用不同制绒条件在黑硅
，采用等离子体浸没离子注入法（PIII）可以成功制备出多晶黑硅并研究了其表面微观结构和反射率。目前，我们通过PIII方法制备出多晶黑硅并研究了绒面结构对电池电性的影响。2 实验设计本次试验使用的

实验室中，科研人员已经采用SiO2钝化电池表面，并取得不俗的开路电压和效率。 SiNx：H 第一次进化 90年代，科研机构和制造商开始探索使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备含氢的
晶硅太阳能电池的表面钝化一直是设计和优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC/PERL设计。虽然这一结构

就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。 2.2发射区扩散 PN结特性决定了太阳能电池的性能!传统工艺对太阳能电池表面均匀掺杂，且为了减少接触电阻、提高电池带负载能力表面掺杂浓度较高。 但研究发现

采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。 2.2发射区扩散 PN结特性决定了太阳能电池的性能！传统工艺对太阳能电池表面均匀掺杂，且为了减少接触电阻、提高电池带负载能力表面掺杂浓度较高。 但研究发现表面

和散射光。表面等离子体的最生动的例子之一便是一些中世纪教堂中的拥有繁多色彩的玻璃窗，那是因为金纳米颗粒吸收和散射可见光而显现出来的效应。等离子体具有丰富的可调性，改变玻璃中金纳米颗粒的大小和形状可以

于2011年，专注于新一代高效太阳能电池装备研发和制造。公司创始人兼CEO上官泉元多年来从事微电子行业高端制造装备技术研究，公司基于自主研发的线性等离子源技术，成功开发出了Tysol-RIE系列干法制绒设备
可用于常规多晶硅电池，而且对金钢线切割的硅片也能达到同样效果。秘密就在于用干法制绒的多晶硅表面，可以吸收更多阳光。公司研发部主管刘浩介绍说，普通方法生产的多晶硅表面放大后呈连续的M状，而干法制绒的多晶硅

，SiNx膜被制备在硅的表面起到两个最用，其一是减少表面对可见光的反射；其二，表面钝化作用。PECVD技术的分类用来制备SiNx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（CVD法）、等离子增强化学气相沉积

SiO2钝化电池表面，并取得不俗的开路电压和效率。SiNx：H 第一次进化90年代，科研机构和制造商开始探索使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备含氢的氮化硅(SiNx：H)薄膜用作电池
晶硅太阳能电池的表面钝化一直是设计和优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC/PERL设计。虽然这一结构

（Al2O3）薄层在p型或n型硅表面提供了钝化良好的表面态。在低电阻率P型硅上已经证明了利用低温等离子的ALD 其SRVs13cm/s。氧化铝层中的固定负电荷密度导致P型c-Si表面存在一个累积层

硅片上下表面相互绝缘。然后把硅片在HF溶液中完全去除扩散过程中产生的磷硅玻璃（PSG）。 PECVD：通过微波电能使反应气体电离，在局部形成等离子体，在基片上沉积出氢氮化硅薄膜。增强对光的吸收性的
记者作了专业的权威解读：在层压前，电池片要经过制绒、扩散、去PSG、PECVD、印刷/烧结/测试等多个工艺环节 制绒：将金属硅片放入特定浓度的溶液里，对硅片表面形成同向腐蚀，得到蜂窝状结构的减反射