背表面钝化技术

构化、发射区钝化、分区掺杂等技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池。提高转化效率主要是*单晶硅表面微结构处理和分区掺杂工艺。在此方面，德国夫朗霍费费莱堡太阳能系统研究所保持着
世界领先水平。该研究所采用光刻照相技术将电池表面织构化，制成倒金字塔结构。并在表面把一13nm。厚的氧化物钝化层与两层减反射涂层相结合．通过改进了的电镀过程增加栅极的宽度和高度的比率：通过以上制得的电池

黄河光伏日前宣布经过技术研发部经过近一年的技术攻关，公司在单晶和多晶高效电池技术研发方面取得了突破性的进展。通过采用氧化铝背钝化工艺，单晶电池转换效率达到了18.95%。多晶电池通过采用反应离子刻蚀

索比光伏网讯:：近日，经过技术研发部经过近一年的技术攻关，黄河光伏在单晶和多晶高效电池技术研发方面取得了突破性的进展。单晶高效电池的研发，采用氧化铝背钝化新工艺，单晶电池转换效率达到了18.95

(发射极及背表面钝化电 池) 工艺可以将单晶硅电池转换效率提高至19%以上。 ILS TT DS 系统的产能可以达到3600片/小时。 InnoLas公司的CEO Richard
，用于数百MW的电池片批量生产。 ILS TT DS 设备利用激光源和光学器件的优化来实现不同应用；这就使得该设备可同时被用来完成PERC电池制造的主步骤和背电极的制作。PERC

允许我们通过用Marangoni干燥机进行合适的清洗与干燥，提高用于表面钝化的ALD生长的Al2O3层的同质性。在a-Si:H异质结情况下减少界面污染也是获得高开路电压的关键。结论对于晶硅太阳能电池
工艺及分析工具箱如何能用来有助于基于晶硅的光伏器件的进一步开发。本文介绍了在IMEC正在跟踪研究的一些方法，把微电子和微系统范围广泛的纳米技术工具箱用于晶硅太阳能电池。公认的晶硅太阳能电池路线图 现今的

扩散）电池，这种电池的实验室最高记录是由赵建华博士于1999年实现的，其包含并不限于典型的选择性发射极（SE）技术。② 激光制绒，以达到均匀性最好的表面倒金字塔形貌。钝化背发射极（降低复合速率，延长少子

发射极背部局域扩散)电池，这种电池的实验室最高记录是由赵建华博士于1999年实现的，其包含并不限于典型的选择性发射极(SE)技术。② 激光制绒，以达到均匀性最好的表面倒金字塔形貌。钝化背发射极(降低复合

载流子的复合主要是由于高浓度的扩散层在前表面引入大量的复合中心。此外，当少数载流子的扩散长度与硅片的厚度相当或超过硅片厚度时，背表面的复合速度对太阳能电池特性的影响也很明显。提高晶硅太阳能电池转换效率的

性能好，而且由于它采用了湿法氧化法而非传统的热氧化钝化电池后表面，在钝化效果和温度因素之间找到了一个合适的平衡点。既保证了钝化效果，又减少了温度对少子寿命的影响，使电池的性能得到最优化。该电池另一个特点是超薄，厚度仅37um,此技术对降低多晶硅用量有重要意义。（作者：和海一样的新能源）