硅薄膜
器件的可靠性造成了巨大的困扰，也影响了非晶硅薄膜太阳电池的开发利用。 非晶硅领域认为薄膜中H原子的主要存在形式是Si-H共价键。2020年，刘文柱等人基于大量实验数据，发现上述结构模型并非永恒成立
%。 东方日升异质结新品伏曦 (Hyper-ion) 用微晶硅替代现有的非晶硅薄膜，异质结电池的转换效率比非晶掺杂层电池可以高出 0.5%，我们认为，在优化微晶技术之下，效率还有0.3~0.4
高效自动化生产线设备研发与技术攻关。 重点开展光伏电池片、多晶硅及非晶硅太阳能电池、柔性非晶硅薄膜太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池等产品研发与技术攻关。 原文如下： 营政办发〔2022〕8号
高效光伏电池技术的领军型人物，宋登元博士毕业于澳大利亚新南威尔士大学光伏工程专业，师从世界太阳电池之父马丁格林教授，研究领域覆盖了晶体硅太阳电池、硅薄膜太阳能电池、第三代硅量子点太阳电池以及新型光伏材料
博士学位的最短纪录。1992年，29岁的施正荣获得博士学位，成为世界上实现如何将硅薄膜生长在玻璃上第一人。
这块膜的诞生，对太阳能产业具有里程碑、划时代的意义。技术的突破，大规模地降低太阳能电池的
技术科学和工程院院士、上海电力大学教授、上迈新能源创始人兼董事长。他仍然奋斗在新能源产学研的一线。他在多晶硅薄膜太阳电池和高效晶体硅电池的技术研究和产业化实践等方面取得了国际公认的突出成就，在中国和
了无锡尚德太阳能电力有限公司，这为中国光伏产业的发展带来了曙光。
施正荣在澳留学期间，年纪轻轻便成为了光伏领域家喻户晓的人物。凭借过人的天赋以及对光伏技术的独到见解，他成功攻克了硅薄膜在玻璃上生长的难题
，并研发出多晶硅薄膜太阳能电池技术，在短短几年内已经坐拥10余项太阳能电池技术发明专利，还被任命为澳大利亚太平洋太阳能电力有限公司执行董事。由于在澳大利亚的发展空间有限，志存高远的施正荣毅然决定回国
另一重要原因。HJT电池是目前工序最少的电池技术，仅为4道：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备和电极制备，PERC电池则需要8道工序。 布局良机显现 中国证券报：海源复材布局HJT电池领域的原因
掺杂方案。业内在探索低成本PN区掺杂工艺，并在以下几个方向有了积极的成果：
简化掺杂非晶硅薄膜的工序
降低关键设备PECVD的设备成本
采用更低成本的非晶硅沉积设备
(2)关键设备：非晶硅薄膜
沉积设备
非晶硅薄膜沉积设备，主要有板式PECVD、HWCVD和LPCVD设备。见下表：
非晶硅薄膜沉积设备比较
(来源：公开信息，普乐科技POPSOLAR整理)
LPCVD设备，是随着
超高效异质结光伏电池片生产线，配套生产设备等设施。 异质结太阳能电池(HJT)是一种高效晶硅太阳能电池结构，利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。相对于传统电池，异质结电池颠覆了第二代及
，TOPCon电池也有比较高的呼声。 相比较而言，异质结电池有4道工艺(制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应的设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备
