硅片清洗设备

）： A、 光伏生产设备： 硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备 硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关

、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也

新能源。为了适应太阳能电池产业的发展，满足日益增长的市场需求，抓住太阳能电池产业发展的历史机遇，本项目拟建整套100MW太阳能电池生产设备, 以单晶硅片为原料经表面处理、扩散、硅沉积、电极印刷、焊接等工序
㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm

整形、定向、切割、研磨、腐蚀、抛光、清洗等工艺,加工成符合特定要求的硅片。硅片的厚度已经从2004年的主流厚度270um发展到现在的200um为主。目前，国际上部分厂家量产的硅片厚度可以达到180um

大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。此外

珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干机、划片机等

)主要分布在珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干

太阳能硅片、电池片、电池组建及模块、储能及应用产品、光伏发电系统等的研发、生产;LED外延芯片及照明设备、显示设备及各类应用产品的封装、生产；以及上述产业链环节重要设备、装备的研发、生产。长沙高新区将出

子科技集团第四十八研究所）光伏产业项目，总投资8亿元，将形成100MW光伏产业链，预计产值将达到100亿元。48所是国内领先的太阳能光伏设备研发生产单位，先后成功开发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机
推进长沙光伏产业快速发展，推进产业集群结构优化升级,提升产业竞争力，长沙市委、市政府决定在长沙高新区麓谷建立长沙光伏产业基地。基地规划面积约236公顷,其中产业用地215公顷。重点布局太阳能硅片

国内首台适用于65纳米技术节点的12英寸单片晶圆清洗设备Ultra C日前在上海工博会首次亮相，从而填补了国内半导体单片晶圆清洗设备制造的空白。 这台清洗设备是由落户上海张江高科技