国内首台12英寸硅片清洗设备亮相工博会

来源:SEMI发布时间:2008-11-06 10:06:17

    国内首台适用于65纳米技术节点的12英寸单片晶圆清洗设备Ultra C日前在上海工博会首次亮相,从而填补了国内半导体单片晶圆清洗设备制造的空白。

    这台清洗设备是由落户上海张江高科技园区的盛美半导体设备(上海)有限公司,按照国际一流技术水平设计制造的,其系统框架、核心部件和关键工艺均已申请全球专利保护,具有完全自主知识产权。

    据介绍,Ultra C可以应用于65纳米半导体制造工艺的前端和后端的清洁工艺,主要用于去除晶圆表面的微粒、光阻材料和氧化物。用户可以根据自己需求定义从0%到90%的化学清洗液回收率,从而降低化学消耗品成本,并减少化学污染品的产生。此外,Ultra C还提供了一种高温剥离光阻材料的解决方案。

    相比较传统的批式清洗设备,Ultra C可以降低清洗过程中的交叉污染,提高成品率。同时实现了更好的工艺过程控制,改善单个晶圆以及晶圆间的均一性,提高产品优良率。

    盛美半导体设备(上海)有限公司董事长王晖博士说,预计明年全球半导体晶圆清洗设备的市场规模将达20亿美元,盛美将从明年起实现Ultra C的市场化。

责任编辑:solarbe太阳能网资讯中心
索比光伏网&碳索光伏版权声明:

本站标注来源为“索比光伏网”、“碳索光伏"、"索比咨询”的内容,均属www.solarbe.com合法享有版权或已获授权的内容。未经书面许可,任何单位或个人不得以转载、复制、传播等方式使用。

经授权使用者,请严格在授权范围内使用,并在显著位置标注来源,未经允许不得修改内容。违规者将依据《著作权法》追究法律责任,本站保留进一步追偿权利。谢谢支持与配合!

推荐新闻
马斯克特斯拉光伏工厂又过一关!来源:光伏见闻 发布时间:2026-09-20 09:05:30

文章介绍了特斯拉代号“Crystal Sun”的大型光伏垂直一体化工厂项目在美进展。该项目拟投资101亿美元(约680亿元人民币)于德州福特本德县,占地3050英亩,覆盖从硅锭、硅片、电池到组件的全制造链条,目标产能约100GW,远超美国当前74.1GW的在运组件总产能。技术路线锁定成熟度高、成本较低的TOPCon电池。项目落地关键在于地方税收支持,9月15日拉马尔学区已全票通过为期十年(2029–2038年)的财产税优惠协议,但尚需福特本德县设立再投资区等后续程序。特斯拉同时评估其他州选址,并已启动与中国设备厂商约29亿美元的设备采购;而同属马斯克旗下的SpaceX也在推进光伏建厂,但供应链政策与特斯拉存在差异。项目计划2026年动工、2028年完工、2029年一季度投产,目前仍处于落地前的关键谈判阶段。(199字)

江苏一光伏企业破产清算申请被撤回来源:摩尔光伏 发布时间:2026-09-16 09:08:49

本文报道了泗洪聚能光伏有限公司破产清算程序的中止事件。2024年6月5日,邓庆军以该公司不能清偿到期债务为由,向泗洪县人民法院申请对其破产清算(案号:(2026)苏1324破申40号)。该公司成立于2023年3月,注册资本200万元,主营光伏设备销售、新能源技术研发、太阳能发电服务等业务。9月10日,申请人邓某在法院正式受理破产申请前,主动请求撤回申请。泗洪县人民法院依据《企业破产法》第九条,认定撤回申请系当事人对自身民事及诉讼权利的合法处分,裁定予以准许。该裁定意味着针对该企业的破产清算程序尚未启动即告终止。

0.724元/W!天长市工发供应链有限公司2026年度光伏组件采购(二次)中标结果发布来源:索比光伏网 发布时间:2026-09-16 08:46:53

天长市工发供应链有限公司于近日发布2026年度光伏组件采购(二次)中标结果公告。该项目计划采购总计约40MWp的光伏组件设备,用于天长市本地项目,实行分批次供货,要求在收到甲方通知后15个日历日内完成当批交付。合同服务期为一年,或至累计供货量达40MWp时终止,以先到者为准。安徽天大新能源有限公司成为中标人,中标总金额为2904万元,折合单价0.724元/瓦。该采购旨在保障天长市相关光伏项目建设所需的组件供应,体现了地方国企通过公开招标方式推进新能源基础设施配套建设的实施路径。

冲刺港股!光伏设备商通过港交所上市聆讯来源:光伏前沿 发布时间:2026-09-15 08:50:32

罗博特科智能科技股份有限公司(A股代码:300757.SZ)已于2024年9月13日通过港交所主板上市聆讯,由花旗、华泰国际和东方证券国际担任联席保荐人。公司是全球光伏及硅光行业智能制造设备与系统供应商,主营业务涵盖三类光伏解决方案:自动化生产设备、定制化整线集成服务,以及以R2Fab MES平台为核心的智能制造软件系统。2020年起通过投资并最终于2025年全资收购德国ficonTEC,公司拓展至硅光器件组装与测试设备领域,产品覆盖从研发到量产的全周期关键环节。本次港股IPO募集资金将主要用于技术研发与商业化、产能扩张、全球销售服务网络建设、战略投资并购,以及营运资金补充,旨在强化其在光伏与硅光两大高增长赛道的技术竞争力与市场覆盖能力。(199字)

你的组件洗对了吗?组件运维QA第三期——清洁篇来源:晶科新场景 发布时间:2026-09-10 09:20:44

光伏组件清洗不当反伤发电效率!本文详解清洗三大关键:中性水(pH 6.5~8)防膜层腐蚀,水压≤675kPa+禁用硬质工具防划伤,清晨/傍晚低温时段操作避触电风险。附“雨后发电反升”科学解析——清洁+降温双红利。实用、安全、增效,一次讲清。

海外出口退潮,电池片价格率先回调来源:索比咨询 发布时间:2026-09-03 09:19:16

本文分析了光伏产业链各环节近期价格走势与供需动态。受海外抢出口窗口期临近结束影响,终端需求持续疲弱,尤其10月后海外采购收尾、国内项目不足,导致整体需求支撑转弱。在此背景下,电池片价格率先回调,N型TOPCon 210电池均价降至0.30元/W,主要受海外需求退潮、硅片成本松动及国内涨价难传导三重因素驱动。组件价格虽表面持稳,但成交松动、库存承压、成本支撑减弱,下行压力积聚;硅料与硅片价格亦维持不变,但实际成交价低于报价、库存累增、排产过剩,均面临弱势震荡或回落风险。全文指出,产业链正进入阶段性去库与价格修复周期。(198字)

上市公司签署5927万元光伏设备采购订单来源:索比光伏网 发布时间:2026-08-31 06:46:15

爱旭股份下属子公司滁州爱旭太阳能科技有限公司拟与关联方苏州普伊特自动化系统有限公司签署设备采购合同,以5927万元(含税)采购27台光伏电池片湿法生产设备。该采购系为推进滁州基地产能升级改造,将部分现有TOPCon电池产线转为采用公司自研ABC技术的新型产线,旨在提升电池转换效率、优化产品性能并增强市场竞争力。公司强调,本次交易属日常生产经营所需,定价公允,不损害公司业务独立性;双方在专利与知识产权方面相互尊重,有助于巩固爱旭在光伏前沿技术领域的领先地位和核心竞争能力。

宇晶股份:2.44亿元海外合同不再履行来源:宇晶股份公告 发布时间:2026-08-28 10:53:28

宇晶股份于2024年10月与一家海外企业签订金额约2.44亿元人民币的《采购合同》,约定向其供应切片机等自动化设备及相关服务。但近日,该公司收到客户通知,因客户所在国监管政策及市场环境发生重大变化,导致项目在商业与运营层面已丧失可行性;加之合同约定的生效条件——包括宇晶股份提供银行保函、客户出具开工通知及支付首期款项——始终未能满足,该合同决定不再履行。宇晶股份强调,自签约以来未启动任何实质性工作,如生产、采购等,因此合同终止不会对其当前生产经营造成影响。

英利中标中核集团2026-2027年度光伏组件设备一级集中采购项目来源:英利发展 发布时间:2026-08-26 08:31:45

英利能源连续六年入围中核集团光伏组件集采,成功中标2026—2027年度4.3GWp一级集中采购项目,成为6家入围企业之一。项目严控全生命周期质量,凸显英利在性能、工艺、服务等维度的综合竞争力,彰显央企对其产品品质与交付能力的长期信任。

捷佳伟创出货光掩膜清洗设备来源:捷佳伟创 发布时间:2026-07-30 09:38:07

捷佳伟创旗下子公司创微微电子自主研发的光掩膜清洗设备已通过多家终端晶圆厂验证并进入量产交付阶段。该系列设备涵盖CS+150 MC(Spin/Bench+Spin复合型)、CS+150 Spin Type(紧凑单片式)和S+200(槽式)三大产品线,支持5英寸至9英寸多种规格石英光掩膜,适配SMIF自动或Cassette手动上下料,具备前后面全自动清洗、AOI颗粒检测及Marangoni干燥等功能。设备在颗粒控制、无水痕及表面洁净度方面满足先进制程要求;关键零部件国产化率超80%,软件完全自主开发;工艺模块高度集成,可灵活配置UV、SPM、SC-1、边缘清洗等工序。创微微电子聚焦集成电路湿法工艺装备,产品延伸至晶圆清洗、光学玻璃清洗及第三代半导体等领域,提供“工艺+设备+服务”一体化解决方案。

OCI翻倍扩产多晶硅 应对美国市场需求来源:光伏情报处 发布时间:2026-07-30 09:18:38

韩国OCI控股宣布将多晶硅年产能从3.5万吨提升至7万吨,目标2029年上半年实现满产,总投资约9.46亿美元。此次扩产旨在响应美国在AI数据中心、半导体、光伏及航天等领域对高纯多晶硅的快速增长需求,尤其依托其非受限外资实体(Non-PFE)供应链体系,构建覆盖马来西亚多晶硅生产、越南硅片加工、直供美国市场的垂直产业链,以规避政策风险。目前现有产能已全部锁定美国长期订单;新产能分两阶段建设:先搬迁设备增产5000吨,再新建产线扩产3万吨。同步推进越南硅片子公司产能由2.7吉瓦增至11.5吉瓦,并加速在美国德州开发6.5吉瓦光伏储能项目。扩产有望缓解全球高纯多晶硅供应紧张,推动价格趋于平稳。(199字)