硅片清洗设备
，防止合金点产生。
2.表面黑点或白雾。这是扩散工艺中经常出现的表面问题。一般在显微镜下观察是密布的小黑点，在聚光灯下看是或浓或淡的白雾。产生的原因主要有：
（1）硅片表面清洗不良，有残留的酸性水汽
；
（4）预淀积或在扩散时气体管路泄漏或气体含有杂质；
（5）光刻腐蚀后有残留氧化膜或在清洗过程中产生较厚的自然氧化膜（大于2nm）阻碍了杂质扩散；
（6）预淀积或在扩散过程中设备的故障或误动作
光伏电池随后在1997年实现量产，即光伏异质结(HIT/HJT)电池。 HJT异质结电池的基本结构：HJT异质结电池以N型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的N型硅片正面依次沉积厚度为5-10nm的本征
清洗综合设备采用最新全自动配液、高精度补液术以及硅片表面预脱水技术，结合实篮监测系统和分组制绒技术，表明其在制绒设备上已处于领先水平。目前公司研制的超高产能HJT单晶制绒清洗设备已经处于检验阶段(通威
可以做到与170-180um的P型硅片相同的价格，未来N型成本下降空间较大。 问题四：设备有哪些革新，空间多大?HJT设备包括制绒清洗设备(捷佳、YAC)CVD(爱发科、理想、钧石、迈为、捷佳)PVD
、TCO膜沉积是HJT生产核心步骤，PECVD和PVD国产化、规模化将推动降本。HJT电池生产设备与常规电池的兼容性较差，新建项目需要重新投入生产线。制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积
约6%的发电增益，而随着设备国产化和规模效应下，我们预计：HJT未来5年设备逐步降本至45%;在硅片薄片化、靶材和银浆的国产化及规模化的作用下，材料逐步降本至30%。当前，HJT产品已具有较好的投资性
电池工艺技术中制绒清洗设备研发、RPD设备研发、丝网印刷线研发已基本完成，完成工艺验证可以实现量产，而难度最大的PECVD样机预计也将于2020年一季度交于客户验证，届时公司将完全具备HIT整线量产
根据 PVinfoink,单晶路线获得市场认可,2018年市占率约为 50%。
公司先进的单晶生长设备和金刚线切割技术,使得硅片非硅成本持续下降;
依托领先的电池转换效率和组件光衰控制技术,公司
具双重提升可能
在国内设备公司产品相对有限的背景下,公司现有核心半导体前道设备已涵盖,物理气相沉积、刻蚀、清洗和立式炉等(占据八大类设备品类中的4种),且均在国内处于前两位位置,覆盖相对全面;伴随
电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工艺难度大，且产线与传统电池不兼容，设备资产投资较大。
3、优势和特点
HIT电池具有发电量高、度电成本低的
。HIT电池BOM成本前四项为硅片、导电银浆、靶材、制绒添加剂。针对这几个高成本部分，可进行专项降本，包括降低原材料的消耗量、关键设备的国产化、关键原材料的国产化、新技术的导入等。
4、发展现状
从
，HIT电池设备的单机产能相对较低，清洗机、PVD、丝网印刷机单机产能大约在200MW/台左右，PECVD只有100MW/台左右的产能。单机产能低是目前HIT电池投资较高的主要原因之一。
通过做大
了26.4%。
国产化也有望大幅降低设备成本。目前HIT设备主要以国外设备为主，国产设备正在进入。捷佳伟创、迈为、钧石等公司已经在清洗、TCO、丝印等不同的环节具备了产品能力，随国产设备成熟，HIT设备
。如，当灰尘遮挡使电站的发电量明显降低时，自动清洗设备就会启动，及时清洗来降低发电量的损失;对于电站故障，也能及时发现、报警，配合无人机巡检定位，使故障及时排除，减少发电量损失。 因此，智能化监控
