硅烷法

。目前国际上生产高纯度多晶硅料的生产工艺85%以上采用改良西门子法。它是利用氯气和氢气合成HCl，HCl和工业硅粉在一定的温度下合成SiHCl3，然后对SiHCl3进行分离精馏提纯，提纯后的SiHCl3在
生产最常用的工艺就是直拉法。在这个过程中，多晶硅料放入石英坩埚中，经过加温后缓慢融化，浸入一根具有一定晶向的籽晶，经过缩颈、放肩、转肩、等径、收尾生长和冷却过程，完成一根单晶的生长过程。多晶晶锭生产最常

多晶硅生产系统，都是最具吸引力的。不过，采用闭路循环模式需要更先进的技术和更大的投资，需要企业具有更长远的眼光和更强的社会责任感。此外，我国的企业和科研机构对于硅烷法、物理提纯法等生产工艺技术的探索也

级多晶硅的低成本要求，因此他的经营风险在目前最大。2.硅烷法的的安全性已经逐步得到改进，有利于进一步规模扩展。3.冶金法，成本低、能耗低，并可以在若干年内使其电池光伏转化率达到较高的水平，逐步发展成为带

淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(PECVD)法。此种制作工艺可以连续在多个真空淀积室完成，从而实现大批量生产。由于反应温度低，可在200℃左右的温度下制造，因此可以在玻璃
300MW-500MW。这要求投资方不仅能够筹集足够的初始投资，还应为未来两三年内持续投资做好准备。　　　在供应链组织方面，生产所需的高透光率的超白玻璃、高纯硅烷等都只有有限的供应来源。生产企业必须保证

10000吨才是一个最基本的经济规模，只有达到这样的经济规模，才能将多晶硅的制造成本控制在15～25美元之间（利用改良西门子法），如果用硅烷法成本可以降到15～20美元。如果具备上述条件，我认为投资

西门子法、硅烷法和流化床法。 其中应用最为广泛的技术是改良西门子法，约有70-80%的多晶硅项目采用改良西门子法。该方法通过采用大型还原炉，降低了单位产品能耗，采用SiCl4氢化和尾气干法回收

备受国际关注，按照我国现行的工艺，生产1000吨多晶硅产生的副产品氯硅烷就有9000吨，要注重发展与有机硅、白碳黑相结合的工业，将氯硅烷转化，变废为宝。 第三，科学研究问题。企业在引进国外设备和技术
2004年重新修订实施了与“全网平摊”相配套的《上网电价法》，使得光伏发电成本快速下降。光伏系统安装量每扩大一倍，成本下降20％。从2004年到2007年，3年电价降低了约17％。 我国虽然在2006年

多晶硅产生的尾气污染排放问题备受国际关注，按照我国现行的工艺，生产１０００吨多晶硅产生的副产品氯硅烷就有９０００吨，要注重发展与有机硅、白碳黑相结合的工业，将氯硅烷转化，变废为宝。 第三
发电成本相当接近。 ２００６年德国市场超过日本，这主要得益于德国２００４年重新修订实施了与“全网平摊”相配套的《上网电价法》，使得光伏发电成本快速下降。光伏系统安装量每扩大一倍，成本下降２０

进行了简单的介绍。 目前世界上七大多晶硅厂商多采用改良西门子法和硅烷法生产电子级和太阳级多晶硅。改良西门子法是目前发展最为成熟的多晶硅制备方法。除MEMC和REC采用硅烷法之外，另外5家大厂商均采用

更低的水平，那将会是一番什么样的景象？ 改良西门子法还是物理法提纯？ 在生产高纯多晶硅的技术方面，目前多种生产工艺路线并存，国际上多晶硅生产主要的传统工艺有改良西门子法、硅烷法和流化床