硅烷法

生产工艺路线并存，国际上多晶硅生产主要的传统工艺有改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中应用最为广泛的技术是改良西门子法，约有70-80%的多晶硅项目采用改良西门子法。该方法通过采用大型还原炉，降低了单位产品

自主创新掌握多晶硅产业的核心技术。”中国工程院院士闻立时指出 我国应反对不计成本的引进和仿制，打破行业垄断，鼓励民营资本和国外资本进入；要全面兼顾突破关键技术，发展安全性能有保障的硅烷法
，高效率、低能耗、低成本的新一代西门子法，传统冶金与载能束处理结合的新一代冶金法等，通过市场竞争找到各自科学合理的定位，实现协同、快速发展。 综合利用四氯化硅解决污染问题 当前

，每公斤多晶硅成本为20～25美元。新硅烷法技术不断取得进展，除保证多晶硅的纯度较高的特点外，直径也从原来的不足100mm增大至140mm，晶粒多晶硅已规模生产，产能达2700t/a。多晶硅生产均采用
世纪中叶，太阳能光伏发电成为人类的基础能源之一，在世界能源构成中占有一定的地位。 多晶硅生产技术不断发展和完善 改良西门子法技术的不断完善与发展，使原辅材料及能耗大为降低，产品成本也随之降低

研究公司弗里多尼亚集团称，全球工业气体市场2005年达410亿美元，预计2010年将达510亿美元。 电子工业气体主要用于薄膜沉积，如化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD法），这些技术主要
用来制造半导体或光伏电池。三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）和氨气是用于半导体、液晶显示器（LCD）和光伏技术领域的三大主要电子工业气体。 薄膜太阳能电池在不同领域、不同自然条件下的普及应用

市场2005年达410亿美元，预计2010年将达510亿美元。 　　电子工业气体主要用于薄膜沉积，如化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD法），这些技术主要用来制造半导体或光伏电池。三氟化
氮（NF3）、硅烷（SiH4）和氨气是用于半导体、液晶显示器（LCD）和光伏技术领域的三大主要电子工业气体。 　　薄膜太阳能电池在不同领域、不同自然条件下的普及应用，使其生产过程中必不可少的电子工业气体消费量

，产品成本也随之降低，每公斤多晶硅成本为20～25美元。新硅烷法技术不断取得进展，除保证多晶硅的纯度较高的特点外，直径也从原来的不足100mm 增大至140mm，晶粒多晶硅已规模生产，产能达2700t
预言，在21 世纪中叶，太阳能光伏发电成为人类的基础能源之一，在世界能源构成中占有一定的地位。 多晶硅生产技术不断发展和完善 改良西门子法技术的不断完善与发展，使原辅材料及能耗大为降低

，产品成本也随之降低，每公斤多晶硅成本为20～25美元。新硅烷法技术不断取得进展，除保证多晶硅的纯度较高的特点外，直径也从原来的不足100mm增大至140mm，晶粒多晶硅已规模生产，产能达2700t
自己处于优胜者地位。各种生产方法经过了长期的演变和工艺技术的变更，目前多晶硅的生产方法主要有西门子法和新硅烷法，西门子法分传统西门子法和改良西门子法，由于原料不同，新硅烷法分棒状和粒状两种

太阳能光伏产业发展对配套材料的需求 待定 2008年4月29日 下午13:30 主持人宣布开始 待定 13:30-15:10 多晶硅制备新技术报告 待定 物理提纯法制备新技术 待定 新硅烷法太阳能
级多晶硅在技术指标上远远低于半导体级多晶硅，目前广泛应用的半导体级多晶硅制备技术“改良西门子法”技术路线长、投资、能耗巨大，并不是太阳能级多晶硅的理想制备技术。在市场的刺激下，一批新型的太阳能级多晶硅制备

的市场份额，但存在投入过高、投资周期长、经营风险偏高等不足；硅烷法有利于为芯片业服务，但生产安全性还有待提高；流化床法的成本和电耗较低，但存在产物的污染问题；冶金法在为太阳能光伏发电产业服务方面，拥有

技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的多晶硅的产能约占世界总产能的80％，短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。 （2