硅烷法

由三晶阳光建立，而由其研发越代技术，并希望由新技术开发带动光伏产业集群、从而推动福建省光伏产业发展的目标明确。以前是改良西门子法一法独大，但现在的产业发展情况是，硅烷法和冶金法以及改良西门子法已经是

岛津公司在进行生产。 间接法又分成两种： 　　（1）微波法：使用微波作为激发等离子体的频段。微波源置于样品区域之外，先将氨气离化，再轰击硅烷气，产生SiNx分子沉积在样品表面。这种设备目前的主要
制造商为德国的Roth&Rau公司。 　　（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的OTB公司生产。 　　目前，在中国微波法PECVD系统

。” 　　道康宁2006年，推出了冶金法硅材料，这也代表了道康宁对于利用自身技术对于创新和成本降低的一个探索。 　　除了冶金法硅料的研发，道康宁近期开发的封装材料针对封装工艺和生产流程进行改革，可降低成本总体

年，推出了冶金法硅材料，这也代表了道康宁对于利用自身技术对于创新和成本降低的一个探索。 　　除了冶金法硅料的研发，道康宁近期开发的封装材料针对封装工艺和生产流程进行改革，可降低成本总体生产成本。该
、组件以及系统安装，如封装所需的硅材料及电池用的防反射涂层，而当前光伏投资的大热门——薄膜电池，也同样要用到道康宁所生产的硅烷。在这些不同的环节上我们有着不同的合作伙伴，当然，也有不同的竞争对手

每公斤35美元左右。赛维提出的每公斤20美元，应当是采用了流化床还原工艺的西门子法或硅烷法。硅烷流化床法目前预计可将多晶硅成本降低到15美元/公斤～20美元/公斤，但能否量产还有待观察。其实，如果我们

厂家而言，取得闭环生产技术的突破是降低成本、提升竞争实力的关键。 　　　　当然，除西门子法之外，流化床法、硅烷法、物理法等其他工艺技术的发展也为多晶硅企业降低成本提供了多种选择。 　　　　(编辑:xiaoyao)

提出的每公斤20美元，应当是采用了流化床还原工艺的西门子法或硅烷法。硅烷流化床法目前预计可将多晶硅成本降低到15美元/公斤～20美元/公斤，但能否量产还有待观察。 其实，如果我们跳出

发起组建，投资兴建的年产1万吨多晶硅项目一期工程于2008年12月在伊川县奠基，公司计划用3年时间建设包括年产3000吨物理提纯法多晶硅项目、1000吨三氯氢硅硫化床法多晶硅项目、6000吨硅烷硫化床

多晶硅产业的发展。代表们对于西门子法、改良西门子法、流化床法、硅烷法、冶金法、CP法等各种多晶硅的生产工艺都进行了深入的讨论。最后，由工程院副院长杜祥琬院士和周廉院士分别作了总结。 上海普罗新能源

发生无情的洗牌。新技术路线的冲击不可忽视：以改良西门子法为代表的传统工艺是当前高纯多晶硅的主要生产方法，占据着80％的份额。而以硅烷法、冶金法为代表的新兴技术正在逐步的成熟中，这些新方法直接瞄准太阳能