硅烷气体

有限责任公司与美国REC硅料公司在西安就榆林多晶硅项目合资、技术转让等合作事项实现了成功签约，拥有了当今全球最领先的电子级硅烷气生产技术、二代硅烷流化床法生产粒状多晶硅技术和超高纯电子级多晶硅和区熔级
多晶硅生产技术。其中，区熔级多晶硅生产技术成功引进后，将使我国多晶硅生产技术一举跨入世界领先水平，改变目前高端电子级多晶硅和电子级硅烷气仍然全部依赖进口的局面，并将为我国光伏产业低成本高质量发展做出

RECSilicon是全球最大的超纯区熔及颗粒多晶硅原材料生产商，是太阳能产业领先的垂直整合公司，是世界上规模最大的硅材料生产商之一。RECSilicon生产的太阳能和电子级多晶硅及硅烷气体，是光伏、电子
美国REC硅料公司在西安就榆林多晶硅项目合资、技术转让等合作事项实现了成功签约，拥有了当今全球最领先的电子级硅烷气生产技术、二代硅烷流化床法生产粒状多晶硅技术和超高纯电子级多晶硅和区熔级多晶硅生产技术

。美国RECSilicon是全球最大的超纯区熔及颗粒多晶硅原材料生产商，是太阳能产业领先的垂直整合公司，是世界上规模最大的硅材料生产商之一。RECSilicon生产的太阳能和电子级多晶硅及硅烷气体，是
公司与美国REC硅料公司在西安就榆林多晶硅项目合资、技术转让等合作事项实现了成功签约，拥有了当今全球最领先的电子级硅烷气生产技术、二代硅烷流化床法生产粒状多晶硅技术和超高纯电子级多晶硅和区熔级多晶硅

，完善分级管理和监督。编制了《青海黄河水电公司新能源分公司设备管道施工清洁要求规定》，建立了全厂设备洁净清洗的级别和管理要求。七完善了原料检测方法，如电子级硝酸、电子级氢氟酸、辅助气体等项目的检测分析
；尤其是在中间产品控制方面，增加氯硅烷（精馏、氯化）中杂质的检测分析项，有效控制和分析产成品中的基体金属杂质和碳元素的来源，产成品中将体表金属的检测分析项目纳入常规必检项，追溯产成品售后质量影响。02

技术。这样可使太阳能电池模块的制造成本削减20％。以前制造单晶硅太阳能电池用硅晶圆时，要耗费大量电力并经过很多工艺。具体而言，首先要利用氢气（H2）等还原由HSiCl3等氯硅烷化合物构成的气体，制造
切屑。现在，单晶硅锭的价格在2000日元/kg左右，其中1000日元/kg以上会变成切屑。此次开发的技术直到在三氯硅烷中混合H2，都跟原来的方法相同。不过，此后是利用化学气相沉积法（CVD）在实施了

现代化的气体充装设施。在这里梅塞尔将生产600吨/年纯度达到99.9995%的电子级氧化亚氮（笑气），提纯或分装用于电子行业的多种高纯气体如高纯硅烷，超纯氨和超纯氢等，并为客户度身配制各种电子级混合气

系统：即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电场的作用下在空间形成等离子体，分解
氨气离化，再轰击硅烷气，产生SiNx分子沉积在样品表面。这种设备目前的主要制造商为德国的Roth&Rau公司。（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种

，还有尾气回收问题。多晶硅生产中氢气、硅烷，反应不完的大部分以硅烷气体存在，必须回收，回收技术以前达不到直接排放标准，会导致环保问题。上述人士说。后来进入多晶硅制造领域的企业的大多投资额度小、技术门槛低

投入，运营以后还有不菲的能耗成本，据了解，目前国内多晶硅每公斤综合能耗为140度电左右，此前曾高达350度电。此外，还有尾气回收问题。多晶硅生产中氢气、硅烷，反应不完的大部分以硅烷气体存在，必须回收

厂粒状多晶硅年产能达18000MT，还可生产1000MT的西门子法多晶硅料及500MT的硅烷气体。基于此，该新合资企业能够向市场供应硅烷气体、太阳能级与电子级多晶硅料。
18,000MT、西门子多晶硅1,000MT、硅烷500MT。 被授予该项目的合同再次明确福陆公司在全球多晶硅与硅烷加工厂EPC领域的主导地位。 福陆能源&化工部亚太区总裁Ken Choudhary