硅烷气体

全球最大的超纯区熔及颗粒多晶硅原材料生产商，是太阳能产业领先的垂直整合公司，是世界上规模最大的硅材料生产商之一。REC Silicon生产的太阳能和电子级多晶硅及硅烷气体，是光伏、电子等行业重要的原料
。其在美国的两个工厂多晶硅产量每年20,500吨，而硅烷年总产能超过29,000吨。此次Jan Johannessen一行参观园区，是在与陕西有色集团和陕西有色天宏新能源有限责任公司有合作意向的基础上对

光伏制造提供的气体包括大宗液态气体、现场制气和特种气体（例如硅烷、氨、高纯氩气、氮气、氢气、磷硼搀杂源气体）以及相关气体配送系统。普莱克斯还提供全套的平面和圆柱的溅射靶材，用于对光伏装置性能至关重要的透明

，从运行结果看，氯硅烷、氢气、氯化氢气体利用率分别达到98.5%、99%、99%以上，使多晶硅生产过程中纯氢消耗从传统西门子工艺的近35立方米/千克降至1立方米/千克以下，且系统能够适应多晶硅生产能力的
生产企业，共同研究突破技术瓶颈，培养、凝聚研发人才。按ASTM标准，实验室配备了先进的多晶硅检测仪器和分析工具，建设了包含氯硅烷分离提纯技术、多晶硅高效还原技术等在内的六个研发平台和一个测试分析中心

为原料的等离子CVD进行成膜时，等离子产生的高硅烷（HOS簇）会进入膜中，引起光劣化。 　　因此，日本产综研将等离子CVD反应器内用网状金属隔开，使等离子区远离基板。这样扩散速度较慢的簇状高硅烷就会
被排出去，不会到达基板。 　　另外，此次方法的最大课题是成膜速度变慢。普通的成膜速度在0.3nm/sec左右，而此次方法则降至0.03nm/sec，仅为前者的1/10。据介绍，这点可通过增加气体流量等改进措施加以改善。（记者：河合 基伸，《日经电子》）

、PECVD原理PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体

。其中，锦屏一级水电站大坝为世界第一高坝，坝高305米，溪洛渡水电站装机规模居世界第三位。重大工程的建设，不但提供大量清洁电力，有利于减排温室气体和完成2020年非化石能源发展目标，还提升了流域防洪
多晶硅生产能耗继续下降，综合成本已降至9万元/吨以下，行业平均综合电耗已降至80千瓦时/千克以下，硅烷法流化床法等产业化进程加快；P型单晶及多晶电池技术持续改进，常规生产线平均转换效率分别达到19.8%和

，锦屏一级水电站大坝为世界第一高坝，坝高305米，溪洛渡水电站装机规模居世界第三位。重大工程的建设，不但提供大量清洁电力，有利于减排温室气体和完成2020年非化石能源发展目标，还提升了流域防洪体系和库区
能耗继续下降，综合成本已降至9万元/吨以下，行业平均综合电耗已降至80千瓦时/千克以下，硅烷法流化床法等产业化进程加快；P型单晶及多晶电池技术持续改进，常规生产线平均转换效率分别达到19.8%和18.6

电池。 6、2015年薄膜电池市场分析及预测中国的薄膜生产商在很大程度上要依靠外国的供应商，这有可能导致一些主要的原材料供不应求，例如一些目标材料、导电玻璃和硅烷气体。德国贺利氏（Heraeus）公司供应中国
，约为8.5%～10.5%，非/微晶电池最低，一般为6%～8%；但从原材料的可获取性来看，非/微晶电池的原材料为硅烷，最为普遍，而另外两种电池的原材料中均包含稀有元素化合物，可获取性较低。近年来

格局。 缺口巨大 全球多晶硅产能发展始于1980年，德、美、日采用改良西门子法，使得产能达到1000吨2000吨。到了2000年，韩国加入，德、美、日、韩采用改良西门子法和硅烷法，生产出太阳能
工艺、设备管道选型、仪表选型、洁净室等级都有严格的要求，在施工及检修时，需要按照最高洁净等级规范，在原辅材料、中间产品、辅助气体和介质方面也要进行完善的质量体系控制。刘刚补充，每一个细小环节都需要长期的