硅外延片

Thin Film软件包的主要特点是升级的基本参数软件(FP Multi)用于分析复杂的多层堆叠，是同类软件中性能最好的，分析层数可达16层。 用它还可以测量和跟踪通过各种沉积步骤制备而成的薄膜堆叠片。对
’Pert PRO系统是研究薄膜厚度、粗糙度和密度、膜内织构和薄膜应力等多种参数的理想选择。多层堆叠的深度分辨相分析，点阵常数的精确测定和外延层的应变、成分和松弛的估算等也都是常见的应用。 此外，还能分析晶粒

直接把电转化成光的发光二极管)领域，重点发展功率型高亮度红黄光、兰绿光外延片等产品、材料的研究与生产;三是太阳能光伏，建立硅片切割、太阳能电池生产能力，发展太阳能电池发电的配套产品。 “同时，昆明市

硅材料及下游半导体产业，加快集成电路、分立器件、光学器件等产业集聚，重点打造单晶硅—硅抛光片—外延片—集成电路产业链，同时延伸发展终端电子信息产业。 徐州市的目标是建成全国最大、国际一流的多晶硅

：太阳能热利用领域，重点进行低温热水技术的开发利用和中高温技术的开发研究；LED领域，重点发展功率型高亮度红黄光、兰绿光外延片等产品、材料的研究与生产；太阳能光伏，建立硅片切割、太阳能电池生产能力，发展

　　信息产业的快速发展，特别是光伏产业的迅速发展，将进一步刺激多晶硅、单晶硅等基础材料需求量的不断增长。预计未来几年小尺寸硅单晶的年产量仍在2500吨左右，同时8英寸、12英寸硅片产量也将有

，电子材料单个产业规模上100亿元，多晶硅材料和硅衬底LED外延片大生产技术实现产业化，LCOS芯片液晶封装和采用激光光源光机研发取得成功，多晶硅材料新工艺中试取得进展。　　大力发展软件外包等现代

（一）LED 1.LED外延片与芯片制造。发挥现有企业在产业化方面已具备的比较优势，重点发展功率型高亮度红黄光、兰绿光外延片及芯片，并最终实现LED普通白光照明产业化。大力扶持LED基础材料

硅片经反复清洗后，经测定每次清洗后硅片表面的颗粒 ≥2 μm 的颗粒会增加，但对外延晶片，即使反复清洗也不会使 ≥0.2 μm 颗粒增加。据近几年实验表明，以前认为增加的粒子其实是由腐蚀作用而形成的小

存在几种制造硅有源层的技术1，本文将讨论其中的三种。 　　薄膜PV基础 　　第一种技术是制作外延（epitaxial）薄膜太阳能电池（图1），从高掺杂的晶体硅片（例如优级冶金硅或废料）开始，然后

，主要集中在厦门以及漳州、泉州、福州等地；从外延片、芯片制造、成品封装到产品应用都拥有一定规模的生产企业，基本涵盖产业链上、中、下游，一批骨干企业发展势头良好；厦门市成为国家科技部正式授牌的全国5个
全国LED和光伏产品集成应用的示范基地；抓住建设海峡西岸经济区的历史机遇，充分发挥我省对台优势，形成优势互补、协同发展的闽台LED和光伏产业合作基地。 　　产业布局：LED外延片、芯片制造以厦门为中心