石英
：作为多晶硅制造重要原料的高纯石英，投资2.5亿元的江西月兔硅材料科技有限公司就能提供丰富的原材料，公司主要生产高纯石英粉（砂）与高纯硅微粉，其高纯石英提纯技术填补了国内空白，在国际上居领先地位；生产
一直是光伏产业的主要原料。芯片业对硅片的纯度、工艺以及固定资产投入要求都远远大于太阳能光伏产业。石英砂提纯之后，成为金属硅，纯度为98%。太阳能芯片纯度一般是99.999999999%，而芯片需要99
石英柑祸壁的反应速率，增大氧官集层的厚度，以达到控制含氧量的目的。与常规CZ单晶相比，最低氧浓度可降低一个数量级; 3.有效地咸少或消除杂质的微分凝效应，使各种杂质分布均匀，减少生长
cZ法生长的。常规cZ法生长的晶体中，氧主要来自石英钳锅，其浓度变化范围介于4.0 x 10'0与2.0 x 10`8原子/厘米”之间〔3,4)，随晶体生长的各种参数而变，其浓度上限接近于硅熔点时的饱和
棘手的问题。为了抑制熔体的热对VrL以降低熔硅与石英柑祸的反应速率，并使氧可控，从而生长出高质量的单晶，采用Mcz法是行之有效的。
二、原理
众所周知，用CZ法拉制单晶时会
严格的监控，原料、坩埚成品有严格的测试，保证了产品的一致性和稳定性。国内的石英坩埚厂家尽管也通过了IS09000质量体系认证，但在严格的质量管理方面还欠火候，没有作业指导书或操作规程，产品缺乏一致性
。虽说坩埚的几何尺寸也在规格范围内，但离散性大，有时偏上限，有时偏下限。此外在石英坩埚的清洗和纯化，石英坩埚的包装材料上，坩埚厂家也有许多有待改进的地方。随着集成电路制造业向中国转移，带动了硅片的需求强劲
直拉法生产硅单晶，必须使用石英坩埚。石英坩埚按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级，而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与支持，石英坩埚的
主要设备：CZ生长炉
CZ法生长炉的组成元件可分成四部分
（1）炉体：包括石英坩埚，石墨坩埚，加热及绝热元件，炉壁
（2）晶棒及坩埚拉升旋转机构：包括籽晶夹头，吊线及拉升旋转元件
）加料：将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内，杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼，磷，锑，砷。
（2）熔化：加完多晶硅原料于石英埚内后，长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定
型材料，将源料放入一端封闭的石英管中，然后抽真空，当真空度到1． 33X10-3pa以上时，将石英管封闭，制成一个安瓶，放入烧结炉中，缓慢加热到D50C进行合成。源料要求具有单一黄铜矿结构，且为p型
北京市太阳能研究所赵玉文等报道了以SiH2Cl2为原料气体，采用快速热化学气相沉积（RTCVD）工艺在石英反应器中沉积多晶硅薄膜。气源为H2和SiH2Cl2的混合物，石英管内配有石墨样品托架，采用程控
，然后再进行二次定向凝固（早期使用二次直拉），将含铁量降到0．3ppm量级，但其纯度及成本均未能达到要求。我国具有纯度高的石英砂资源，并生产大量冶金级硅供应出口，采用冶金硅精炼的方法生产太阳级硅将来具有
潜力。2．1．1单晶硅材料 单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。 硅主要以siO2形式存在于石英和砂子中。它的制备主要是在电弧炉中用
