电池制备工艺
转变受到了严重限制，主要原因是用热氧工艺获得高质量钝化效果的技术非常复杂。此外，还需避免局部扩散工艺在不显著降低硅片质量的前提下制备局部电极，以及控制与电池生产工艺相关的制造成本。 另一方面，氧化铝
金属接触，有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。
PERC电池实验室制备采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术，而产业化PERC工艺采用了PECVD(或ALD)法钝化、激光开孔
，单晶PERC的光衰主要与电池中B-O对有关，此类衰减可通过降低硅片中氧含量、掺Ga、光照+退火等工艺消除。
图二 单晶PERC电池的LID衰减和恢复机理
图三 国产PERC电池的光照恢复
激光掺杂等，简化了IBC电池背表面p+/n+界面处gap的制备工艺流程，开发出行业内领先的低成本;其次，离子注入的最大优点是可以精确地控制掺杂浓度，从而避免了炉管扩散中存在的扩散死层，通过掩膜可以形成
应用潜力。 钙钛矿太阳能电池分为正式(n-i-p)和反式(p-i-n)两种器件结构。相比于正式器件，反式结构器件因制备工艺更加简单、可低温成膜、无明显回滞效应、适合与传统太阳能电池(硅基电池
的优势和应用潜力。 钙钛矿太阳能电池分为正式(n-i-p)和反式(p-i-n)两种器件结构。相比于正式器件，反式结构器件因制备工艺更加简单、可低温成膜、无明显回滞效应、适合与传统太阳能电池(硅基电池
0 引言 为了进一步优化其生产工艺、提高晶体硅电池片效率、降低生产成本，此前已有诸多研究，20世纪80年代，澳大利亚新南威尔士大学光伏实验室提出了PERC结构太阳电池，打破了当时晶体硅太阳电池
技术的太阳电池结构示意图。 图1 为常规太阳电池结构示意图，常规太阳电池的制备工艺简单、成本较低，但和其他硅基太阳电池技术相比，其转换效率较低。 PERC 太阳电池，即钝化发射极及背面
经过近20年的发展，常规硅材料太阳能电池在硅材料质量、辅材以及工艺方面都获得了持续的提升，目前业内主流光电转换效率平均水平，普通单晶约20.1%，普通多晶18.7%-19.1%。单晶PERC电池
钝化以及聚集正/负电荷形成的场效应钝化，见图1)来减少电池体内以及表面的复合。配合优化的扩散工艺，结合先进的SE工艺以及金属化工艺来降低接触电阻和栅线电阻，增大并联电阻，减少电流的损耗;
图
产生黑斑的可能。利用x射线荧光光谱分析(xrf)测试了同一电池片的黑斑区域与正常区域，发现黑斑处ca含量较大，并出现sr、ge和s等杂质元素。将6个档位的电池片制备成2cm×2cm的电池样片，利用光生诱导
多款芯片和组件。
中节能
新型高效双玻组件，结合纳微复合绒面技术、无损切割半电池技术，匹配光学优化PVB封装胶膜和2.0mm减薄玻璃，并采用首创的线式连续生产工艺以及配套设备制备而成
。Cheetah组件采用全新硅片及电池设计，在功率、衰减、抗阴影遮挡及可靠度等各方面均处于业内领先地位，成为了超跑组件的新标杆。
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