电子级硅烷气

消费总量将从102.4亿吨油当量增加到162亿吨油当量，增幅54%。目前，化石能源(石油、煤炭、天然气等)是全球能源消费的主要组成部分，其消费总量逐年攀升。但是，化石能源是不可再生的，且储量有限，其产量的
萎缩不可避免。根据《BP世界能源统计2006》的统计数据，全球石油探明储量可供生产40多年，天然气和煤炭分别可以供应65年和155年。随着时间的推移，化石能源的稀缺性越来越突显，且这种稀缺性也逐渐在

林等人第一次采用辉光放电（GD）或等离子体增强化学气相沉积（简为PECVD）制备了氢化无定形硅（a一Si：H）薄膜。这种方法采用射频（直流）电磁场激励低压硅烷等气体，辉光放电化学分解，在衬底上形成a七
廉价的太阳电池品种之一。非晶硅科技已转化为一个大规模的产业，世界上总组件生产能力每年在50MW以上，组件及相关产品销售额在10亿美元以上。应用范围小到手表、计算器电源大到10Mw级的独立电站。涉及诸多

品种之一。非晶硅科技已转化为一个大规模的产业，世界上总组件生产能力每年在50MW以上，组件及相关产品销售额在10亿美元以上。应用范围小到手表、计算器电源大到10Mw级的独立电站。涉及诸多品种的电子消费品
采用辉光放电（GD）或等离子体增强化学气相沉积（简为PECVD）制备了氢化无定形硅（a一Si：H）薄膜。这种方法采用射频（直流）电磁场激励低压硅烷等气体，辉光放电化学分解，在衬底上形成a七i薄膜。开始

硅用于制铁和制铝工业。目前全世界冶金级硅的产量约为50万吨／年。半导体工业用硅占硅总量的很小一部分，而且必须进行高度提纯。电子级硅的杂质含量约10-10％以下。典型的半导体级硅的制备过程：粉碎的冶金级

2005.1. Semi晶圆制造分会指出2005年全球晶圆出货63.85in2，比上年仅增长2%。尽管电子级硅（EG）的消耗每隔几年就会有波动，甚至硅片消耗量出现下降，但总体是稳步上升的，照此估计
，2010年EG硅需求会达到26000t左右，现有的多晶硅厂和建设中的多晶硅厂（部分产品为EG硅）已能够满足电子级市场的需要。 1.2多晶硅的制备两大多晶硅制备工艺的形成bbs.solarzoom.com

、本征层掺痕量硼法、等。此外，为了提高a-Si薄膜材料的掺硼效率，用二基硼代替二乙硼烷作掺杂源气。为了获得a-Si膜的高淀积速率，采用二乙硅炕代替甲硅烷作源气。 所谓化学退火，就是在一层一层