电子级硅烷气

Corporation）。REC是全球最重要的高纯硅烷供应商，一度占据全球电子级硅烷市场80%的份额，对采用硅烷法生产多晶硅有很强的动力。和保利协鑫专注于多晶硅生产、产业链条相对单一不同，传统多晶硅大厂多为电子

)。REC是全球最重要的高纯硅烷供应商，一度占据全球电子级硅烷市场80%的份额，对采用硅烷法生产多晶硅有很强的动力。和保利协鑫专注于多晶硅生产、产业链条相对单一不同，传统多晶硅大厂多为电子材料综合供应商

索比光伏网讯:中国电子材料行业协会经技部主任、多晶硅产业技术创新联盟秘书长鲁瑾　　发展多晶硅产业是国内业者所肩负的重要使命。我国半导体产业、光伏产业发展甚至国防军工业的发展都离不开我国自有
逐年增长。从2008年的16544吨消耗量，增加到2011年的146131吨。　　根据中国电子材料行业协会最新调查统计，2011年国内多晶硅产量达到82768吨，同比2010年45021吨增长84

。多晶硅生产的环保问题也是国内多晶硅企业和社会各界所重点关注的问题。改良西门子法多晶硅生产在工艺过程中(如氯硅烷合成、还原、氢化等)，将伴随产生大量氢气、氯化氢、三氯氢硅和四氯化硅等，其中主要的副产物是
中国电子材料行业协会经技部主任、多晶硅产业技术创新联盟秘书长鲁瑾发展多晶硅产业是国内业者所肩负的重要使命。我国半导体产业、光伏产业发展甚至国防军工业的发展都离不开我国自有的多晶硅产业。太阳能光伏

Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内(沸腾床)高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅

，全球80%以上的多晶硅都是用改良西门子法生产的。据统计，我国在建和拟建的多晶硅项目有30多家，均采用改良西门子工艺。改良西门子法的原理是，以氯化氢(HCl)和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅
。这基本上也是其他大厂的技术路线。其中最主要的处理方式就是转化成气相二氧化硅，由于气相二氧化硅达到了纳米材料的规格，具有良好的消光、抗紫外线、杀菌等多种作用，因而在橡胶、涂料、胶粘剂、油漆、油墨、塑料

工业用硅还必须进行高度提纯(电子级多晶硅纯度要求11个9，太阳能电池级只要求6个9)。而在提纯过程中，有一项三氯氢硅还原法(西门子法)的关键技术我国还没有掌握，由于没有这项技术，我国在提炼过程中70

的电子级多晶硅产品。3、流化床法以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的

~0.3ppm，但该标准对硼的要求均在0.05ppm以下，因此，不可能做出太阳能电池，只能叫掺杂前太阳能级多晶硅标准。因为制定时找的是西门子法多晶硅厂家，该方法是针对电子级的，因此，只是降低了电子级等级就定了

，到2011年底前小于60千瓦时／千克；半导体级直拉用多晶硅还原电耗小于100千瓦时／千克，半导体级区熔用多晶硅还原电耗小于120千瓦时／千克；还原尾气中四氯化硅、氯化氢、氢气回收利用率不低于98．5