激光工艺
。 XtremePrint是现代太阳能金属化工艺的重要里程碑，ASM AE业务发展副总裁Brian Lau说道。过往的印刷头技术，都是建立在牺牲印刷速度的基础上，实现硅片表面适应。XtremePrint是市场上响应最快的
减反射薄膜沉积。后续经过激光开膜形成背面铝层的接触窗口，然后印刷PERC铝浆，通过调整匹配PERC铝浆的烧结工艺，达到形成良好背面局部接触的效果。背面PERC结构将降低背面复合速率，改善长波吸收
已经有反应离子刻蚀(RIE)或者湿法纳米黑硅技术应用到规模化生产中。RIE通常使用SF6/O2混合工艺气体，在蚀刻过程中，F自由基对硅进行化学蚀刻形成可挥发的SiF，O自由基形成SixOyFz对侧墙进行
结构化阶段，高效电池先经过背面AlOx/SiN叠层薄膜沉积，再进行正面SiNx减反射薄膜沉积。后续经过激光开膜形成背面铝层的接触窗口，然后印刷PERC铝浆，通过调整匹配PERC铝浆的烧结工艺，达到形成良好
（RIE）或者湿法纳米黑硅技术应用到规模化生产中。RIE通常使用SF6／O2混合工艺气体，在蚀刻过程中，F自由基对硅进行化学蚀刻形成可挥发的SiF，O自由基形成SixOyFz对侧墙进行钝化处理，形成绒面
表面制备纳米结构，硅片看上去是黑色的，这就是黑硅。Kontermann等人使用飞秒激光脉冲工艺制备出单晶黑硅太阳能电池。Dimitrov和Du采用化学方法在酸性Na2S2O8和AgNO3混合溶液中制作
消除工艺可以大幅度提升黑硅太阳能电池的电性能。
本文中，为了研究缺陷消除工艺对黑硅太阳能电池电性能的影响，我们采用等离子体浸没离子注入方法制作了黑硅太阳能电池并做了几个不同缺陷消除工艺条件的实验对比
积能带来电池效率的提升，因此，丝网印刷的方法，需在工艺重复可靠性和电池效率之间找到平衡点。
激光是解决丝网印刷局限性的一条途径。无论是间接刻蚀掩膜（利用激光的高能量使局部固体硅升华成为气相，从而
低成本可产业化的IBC电池技术和工艺。2012年，天合光能承担国家863计划"效率20%以上低成本晶体硅电池产业化成套关键技术研究及示范生产线"，展开了对IBC电池技术的系统研发。经过科研人员的不懈努力
。可信赖的产品可靠性基于刚性玻璃衬底的双玻铜铟镓硒组件，电池单元的电学互联由激光划刻形成一体化集成的串联结构，较之传统的串焊互联方式具有更卓越的可靠性。现今，大生产铜铟镓硒组件的可靠性已被大量的加速老化
全世界铜铟镓硒的总产能达2GW/年。虽然铜铟镓硒膜层的制备工艺在不同公司有所区别，但都表现出良好的产品性能。这表明铜铟镓硒光伏组件制造业已达到第一阶段的产业成熟度。即使使用了地壳稀缺元素铟，每年100GW
退火来降低激光的损伤。激光烧结工艺：将硅片放入1%的弱碱溶液1min，再将硅片放入退火炉中，在500℃下退火10min。烧蚀接触采用线接触的形式，比点接触有更快的加工速度。通常开模比例控制在6%～10
（PassivatedEmitterRearLocally-diffused），其结构特点是背面局部接触处重掺杂以降低电池背面局部接触区域的接触电阻和复合速率。背面局部重掺可以通过不同的工艺方式实现，比较常用的是激光掺杂和离子注入等。另外，PERL
PV Cycle的硅基光伏组件欧洲回收合作伙伴之一正在使用一项新工艺，其结合机械和热处理以回收硅碎片并且回收EVA层压板、硅基半导体和材料。该发言人表示：此前对于硅碎片的进一步回收一直没有可行的
解决方案。硅碎片可用于新产品或材料的生产，但是过去无法以一种环保并经济合理的方式来进一步回收。一个光伏组件的整个回收过程以除去框架、接线盒和电缆开始。该组件之后被切碎，随后通过一个激光选择或振动过程分类
，以获得高性价比产品，提升竞争优势。其中，专注于钝化发射极背面电池(PERC)技术的中美晶，2015年第四季度与伏激光技术设备专家InnoLas Solutions签订合作，采用超快激光接触开缝(LCO
)工艺，用于旭泓全球光电目前800MW PERC电池产能。茂迪宣布对单晶硅太阳能电池生产商阳光能源旗下光伏组件制造子公司进行投资，到2016年其在中国工厂的产能将增加600MW。新日光在2015年PV
