氯化氢

西门子法主要包括三氯氢硅合成工艺，三氯氢硅精馏工艺，化学气相沉淀（还原）工艺和尾气回收再利用工艺。首先将冶金级工业硅粉（99％以上）、液氯为原料，采用电解水制氢气，氢气和氯气反应生成氯化氢，氯化氢与硅粉反应制得三氯氢硅，三氯氢硅再与氢气还原反应制得高纯度多晶硅。