晶圆厂设备

江西赛维LDK从2005年10月动工，到成为亚洲最大太阳能矽晶圆厂，仅用了两年多时间，在全球太阳能产业发展历程中绝对是个异数。LDK的传奇不仅在于发展速度惊人，还包括创办人彭小峰，从传统产业半路出家
赶到现场。 吴建华说，“我搞了一辈子工业，从没看过有个行业是连设备都还没有安装好，预付款就来了”。LDK让新余看见产业转型的希望。 为利用以LDK为基础，将新余打造为中国的光电产业基地，新余提出

三菱材料将提高四日市工厂的多晶硅生产能力，将购买工厂附近9万平方米土地，以进行1000吨/年级别的设备增强工程。 预计2010年1月竣工。同时还考虑到将来该工厂的生产能力进一步提高到3000吨
/年～4000吨/年。包括将来提高生产能力用基础设备等的先行投资在内，此次的投资金额为335亿日元左右。 目前三菱材料四日市工厂的多晶硅生产能力为1800吨/年，全资子公司美国

依然是全球半导体设备厂商关注的焦点，而中国设备厂商的崛起也成为集成电路市场发展的基石。 去年3月份英特尔投资25亿美元的300mm晶圆厂Fab68落户大连开发区，今年SEMICON（国际
半导体设备材料展）期间我们又听到了重庆将建300mm生产线的消息，同时马来西亚晶圆代工厂SilTerra也表示将在我国建设12英寸晶圆制造厂。如果这些项目能够顺利实施，中国集成电路市场无疑将成为全球半导体

，将对环境造成严重污染。业界消息显示，由于该种物质回收再利用的成本昂贵，多数中国太阳能厂房均未装设或完全安装相关的回收设备。美国知名财经周报Barron`s报导，中国太阳能电池制造商无锡尚德
(Suntech Power)、中国太阳能硅晶圆厂商江西赛维(LDK Solar)与中国太阳能电池厂商中电光伏(China Sunergy)均为中硅高科技的客户。　　在美国挂牌的中国太阳能类股3月10日闻讯呈现

三菱材料将提高四日市工厂的多晶硅生产能力。将购买工厂附近土地9万m2，以进行1000吨/年级别的设备增强工程。预定2010年1月竣工。同时还考虑到将来该工厂的生产能力进一步提高3000～4000吨
/年。包括将来提高生产能力用基础设备等的先行投资在内，此次的投资金额为335亿日元左右。 三菱材料的多晶硅生产能力目前四日市工厂为1800吨/年，全资子公司美国Mitsubishi

除了在上个月号召台湾地区业者成立“SEMI太阳能产业促进委员会”，国际半导体设备材料产业协会(SEMI)在国际间也积极推动太阳能产业发展，日前邀集德国硅晶圆厂WackerChemie
、德国太阳能电池设备厂Centrotherm、夏普(Sharp)、美国硅晶圆厂MEMC、应用材料(AppliedMaterials)，以及台湾茂迪董事长左元淮、新日光执行长林坤禧和大陆尚德(SunTech

国际半导体设备材料产业协会(SEMI)正在国际间积极推动太阳能产业发展，日前邀集德国硅晶圆厂Wacker Chemie、德国太阳能电池设备厂Centrotherm、夏普(Sharp)、美国
硅晶圆厂MEMC、应用材料(Applied Materials)，无锡尚德(SunTech)首席执行官施正荣，以及台湾茂迪董事长左元淮、新日光首席执行官林坤禧和等15位全球太阳能产业代表，组成“SEMI

了多家公司，包括太阳能板生产商及太阳能发电系统所需电子控制产品与配件供应商，欧洲最大再生能源公司Conergy及最近宣布的挪威REC等。 本地与德国合资的SEP也开始用晶圆厂废料生产太阳能电池外销德国
可行性。从他们的要求可显示国人仍缺乏“环保须付出一些代价”的观念。 今年初韩国一家著名半导体设备公司特地安排两名高级经理来新，直接向业者了解市场现况。这两人有备而来，带了好多尖锐问题，从市场潜能、政府

（pellicle），清洗掩膜版，再覆盖一层新的保护膜，然后将掩膜版送回生产线。这种工艺不但成本很高，清洗效果一般并会缩短其使用寿命。 　　有经验的晶圆厂会跟踪记录用给定掩膜版进行曝光的晶圆数目，然后定期
保护膜）。更老练的晶圆厂会跟踪记录掩膜版的累积曝光剂量，如果达到设定的总剂量值或累积工作时间就取出掩膜版进行检查。” 　　最经常出现的雾状缺陷共有三类。最早被发现且最常见的雾状缺陷是硫酸铵，它的来源是

制造企业。中芯国际向全球客户提供0.35微米到0.90微米及更先进的芯片代工服务。据悉，中芯国际上海12吋芯片生产线项目于2005年10月开工建设，2007年5月设备迁入，7月开始试投产。 　　中芯国际
主导产品。这与其它3条生产线以生产内存芯片为主不同。在90奈米芯片的基础上，中芯国际上海生产线计划在明年年底试投产45奈米芯片。 　　记者了解到，中芯国际已经对其上海12吋晶圆厂投资4.5亿美元。张汝京还透露说，对已经开始生产的该工厂的投资可能还要提高至20亿美元。（特约记者：贾子昂）