单晶石英坩埚
，抓住了才是你的。谭文华是走了一大圈才与光伏相遇的。 1993年，37岁的谭文华就任原一五五厂厂长。谭文华一上任就做了一件大事：他主持改造的电弧法石英坩埚生产线被列入国家火炬计划，通过消化引进设备自主
那些还没有得到妥善安置的职工，必须继续带领他们创业。他提出一个新的目标：三年再造一个新华石英集团！靠什么造？他看准了单晶硅。当年研制设备生产的坩埚就是生产单晶硅的专用装置。 日本金属再生株式会社董事长
需要发现，抓住了才是你的。谭文华是走了一大圈才与光伏相遇的。 1993年，37岁的谭文华就任原一五五厂厂长。谭文华一上任就做了一件大事：他主持改造的电弧法石英坩埚生产线被列入国家火炬计划，通过消化
，他离不开那些还没有得到妥善安置的职工，必须继续带领他们创业。他提出一个新的目标：三年再造一个新华石英集团！靠什么造？他看准了单晶硅。当年研制设备生产的坩埚就是生产单晶硅的专用装置。 日本金属再生
。 锦州市现有规模以上硅材料生产企业12家，其中生产工业硅、单晶硅及硅片、石英坩埚等直接用于太阳能电池及配套产品生产的光伏企业8家，主导产品为单晶硅锭和硅片，产品性能达到国际先进、国内领先水平
。 晶龙集团以生产太阳能电池用大直径单晶硅棒、片和半导体器件为主，是世界上年产单晶硅最多的企业集团，2006年单晶硅产量达1169吨。如此高的产量使得该集团对石英坩埚需求量大增，企业的一举一动对全球市场起着
关键设备——硅单晶生长设备发挥了至关重要的作用，对行业发展做出了非常显著的贡献。
国产设备销量直线上升
近三年，国产太阳能硅单晶生长设备的销售量直线上升，从2004年的8000万元到2006年3.5
亿元。目前，我国市场上有各类硅单晶生长设备1500余台，分布在70余家生产企业。主要产品规格有DRXF-85型、TDR-80型、JRDL-800型、CZ-600型、CG6000型、FT-CZ1860型
一、引言
近年来，半导体硅工艺中，出现了一种令人注目的新工艺—外加磁场直拉(MCZ)法〔l〕。它给硅材料工业带来一大变革。
半导体工业所用的硅单晶，几乎90%是用
浓度。氧在硅晶体内的分布是不均匀的:沿晶体轴向，头部浓度最高，尾部浓度最低;沿晶体径向，中间浓度高，边缘浓度低。直拉‘硅单晶中氧起着有益的和有害的两种作用。’从有益方面来说，由于钉扎位错，增强了硅晶格
上升，同时也为石英坩埚生产厂家带来了巨大商机。打破进口坩埚在大规模集成电路级的，垄断，需要单晶生产厂和石英坩埚厂家的共同努力。对石英坩埚生产厂家来说，加强管理、提升品质，显得更为重要，产品本身不好即使
直拉法生产硅单晶，必须使用石英坩埚。石英坩埚按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级，而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与支持，石英坩埚的
石英坩埚内溶化而成的料。 重掺料主要用于生产低电阻率（电阻率＜0.011欧姆／厘米）的硅片。 损耗：单晶拉制完毕后的埚底料约15％。 单晶硅棒整形过程中的头尾料约20％。 单晶整形
