单晶制绒工艺

导电膜，最后在TCO上丝网印刷电极，再固化，光再生，就制成了HIT电池。因此从工序上来讲，HIT电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积TCO、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。 2
企业已经在引进进口线，行业先驱已经在行动了。 具体来讲，HIT主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和

龙头:公司从事晶硅光伏电池设备业务多年,产品涵盖主流单晶PERC 电池制造过程中PECVD、扩散炉、清洗制绒、自动化、丝网印刷等用于多个主工艺的生产设备,产品已广泛应用于国内外知名太阳能(3.360

的设备会不会也出现同样的问题?下一次着火将会是什么时候?这一系列的安全问题都需要尽快得到解决，毕竟安全生产大于天。 1. 事件描述 从相关人员了解出获悉，设备属于单晶制绒设备，着火区域属于预清洗槽

光伏电池随后在1997年实现量产，即光伏异质结(HIT/HJT)电池。 HJT异质结电池的基本结构：HJT异质结电池以N型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的N型硅片正面依次沉积厚度为5-10nm的本征

核心设备为CVD+PVD HJT电池的一大优势是工艺简单，仅包括制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷四步，而PERC电池为了达到较高的转换效率，除了传统工艺流程外还要增加退火等工艺，复杂的工艺

电池工艺技术中制绒清洗设备研发、RPD设备研发、丝网印刷线研发已基本完成，完成工艺验证可以实现量产，而难度最大的PECVD样机预计也将于2020年一季度交于客户验证，届时公司将完全具备HIT整线量产

示意图 资料来源：OFweek行业研究中心 2、HIT电池工艺流程 HIT电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备。 图表2

PECVD工艺之前去除原生氧化物并用氢原子钝化c-Si表面。 Hevel一直致力于稳定和优化硅片制绒和清洁工艺。其中一项优化步骤是向单组分制绒添加剂转变;这有助于增加寿命并减少化学试剂的消耗。 图二

输出功率为初始功率的92%，光衰指标比较好。 2.HJT降本的理论空间较大，具体进展需要再跟踪：HJT电池生产只有四步，清洗制绒、PECVD镀本征和掺杂非晶硅薄膜、PVD镀金属导电膜、丝印烧结
，制备过程只有清洗制绒、PECVD镀本征和掺杂非晶硅薄膜、PVD镀金属导电膜、丝印烧结等步骤(较现行路线少了3-4个步骤)，未来HJT生产也将更智能化，长期降本可能主要集中在耗材、设备上。 REC目前

。 工艺：核心工艺与PERC完全不同 异质结电池四步核心工艺为清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、印刷电极与烧结。与PERC工艺的区别在于：1)非晶硅薄膜沉积环节，使用PECVD或RPD沉积本征